[发明专利]一种激光折叠谐振腔的调试方法

权利要求书

1.一种激光折叠谐振腔的调试方法，其步骤为：

1)设置一参考光束，所述参考光束与激光折叠谐振腔的出射激光光路重合，且方向相反；

2)在折叠谐振腔输出镜预设位置放入输出镜，调整输出镜的姿态和位置使所述参考光束从输出镜中心垂直入射；

3)沿激光折叠谐振腔的出射激光光路反向依次在预设位置放入折叠腔镜、全反镜，并依次调整每一折叠腔镜的姿态和位置，使得从输出镜透射或从上一折叠腔镜反射过来的所述参考光束入射到当前待调整折叠腔镜的反射面中心，同时当前待调整折叠腔镜反射的参考光束入射到下一折叠腔镜的反射面中心；其中，最后待调整折叠腔镜反射的参考光束入射到全反镜的反射面中心；

4)在折叠谐振腔工作介质预设位置放入工作介质，调整工作介质的姿态和位置使所述参考光束从工作介质的端面中心垂直入射；

5)调整全反镜的姿态和位置使所述参考光束垂直入射到全反镜的反射面中心；

6)打开折叠谐振腔的泵浦光源，使其聚焦进入工作介质，然后精调全反镜姿态，使得激光折叠谐振腔出射激光。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于在放入所述输出镜、或全反镜、或工作介质、或每一折叠腔镜之前首先在对应位置放入一小孔光栏，每一小孔光栏的孔中心为放入的对应单元的入射面中心，当所述参考光束穿过输出镜位置的小孔光栏和步骤3)所确定的第一个折叠腔镜位置的小孔光栏时，固定提供所述参考光束的单元位置和姿态；然后移除所述输出镜对应位置的小孔光栏并放入所述输出镜，调整所述输出镜的姿态和位置使所述参考光束从输出镜中心垂直入射；然后在第一个折叠腔镜位置移除对应的小孔光栏并放入第一个折叠腔镜，调整其位置和姿态使入射到反射面中心的参考光束反射通过下一小孔光栏的中心，然后移除小孔光栏并放入对应的单元并进行调整直到所述全反镜。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述折叠腔镜和全反镜的反射面镀有对激光折叠谐振腔出射激光和步骤1)所述参考光束高反的反射膜。

4.如权利要求1～3所述的方法，其特征在于放入所述工作介质时，设置一第二参考光束；所述第二参考光束从工作介质的另一端面中心垂直入射，且与步骤1)所述参考光束在工作介质中的传播方向相反，调整工作介质的姿态和位置，使得所述参考光束从工作介质入射端面反射后的光束与入射方向相反、且所述第二参考光束从工作介质入射端面反射后的光束与其入射方向相反。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于通过观察输出镜反射的参考光束是否原路返回到参

考光束的出光口来判断所述参考光束是否从所述输出镜中心垂直入射。

6.一种激光折叠谐振腔的调试方法，其步骤为：

1)设置一参考光束，所述参考光束与激光折叠谐振腔的出射激光光路重合，且方向相反；

2)在折叠谐振腔输出镜预设位置放入输出镜，调整输出镜的姿态和位置使所述参考光束从输出镜中心垂直入射；

3)沿激光折叠谐振腔的出射激光光路反向依次在预设位置放入折叠腔镜、工作介质和全反镜，并依次调整放入的每一单元的姿态和位置；其中，折叠腔镜的调试方法为：调整其姿态和位置，使得从前一单元过来的所述参考光束入射到当前待调整折叠腔镜的入射面中心，同时当前待调整折叠腔镜的反射的参考光束入射到下一单元的入射面中心，最后待调整折叠腔镜反射的参考光束入射到全反镜的反射面中心；工作介质的调试方法为：调整其姿态和位置，使得从前一单元过来的所述参考光束从工作介质的端面中心垂直入射；

4)调整全反镜的姿态和位置使所述参考光束垂直入射到全反镜的反射面中心；

5)打开折叠谐振腔的泵浦光源，使其聚焦进入工作介质，然后精调全反镜姿态，使得激光折叠谐振腔出射激光。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于在放入所述输出镜、或全反镜、或工作介质、或每一折叠腔镜之前首先在对应位置放入一小孔光栏，每一小孔光栏的孔中心为放入的对应单元的入射面中心，当所述参考光束穿过输出镜位置的小孔光栏和步骤3)所确定的第一个折叠腔镜位置的小孔光栏时，固定提供所述参考光束的单元位置和姿态；然后移除所述输出镜对应位置的小孔光栏并放入所述输出镜，调整所述输出镜的姿态和位置使所述参考光束从输出镜中心垂直入射；然后在第一个折叠腔镜位置移除对应的小孔光栏并放入第一个折叠腔镜，调整其位置和姿态使入射到反射面中心的参考光束反射通过下一小孔光栏的中心，然后移除小孔光栏并放入对应的单元并进行调整直到所述全反镜。