[发明专利]一种单晶硅片制绒液回收装置及回收方法

权利要求书

1.一种单晶硅片制绒液回收装置，其特征在于，所述装置包括：

蒸馏模块，用于存放待回收的单晶硅片制绒液；

减压模块，连接至所述蒸馏模块且用于降低蒸馏模块的压力；

加热模块，设置在蒸馏模块中，用于对其中待回收的单晶硅片制绒液进行加热；

控制模块，用于控制减压模块将蒸馏模块的压力降至一预设压力范围，且控制加热模块将待回收的单晶硅片制绒液加热至一预设温度范围，且维持所述压力和温度一预设时段以进行所述预设时段的蒸馏；以及

冷凝模块，连接至所述蒸馏模块且用于将从蒸馏模块蒸馏出来的蒸汽冷却以进行回收利用。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片制绒液回收装置，其特征在于，所述回收装置还包括储液模块，其连接在所述冷凝模块上，用于储存冷凝模块冷凝出部分或全部液体。

3.根据权利要求1所述的单晶硅片制绒液回收装置，其特征在于，所述预设压力范围为0.04-0.06MP，所述预设温度范围为70-80℃，所述预设时段为10-30min。

4.根据权利要求1所述的单晶硅片制绒液回收装置，其特征在于，所述冷凝模块通过回收管道直接连接至制绒槽，所述制绒槽用于存放单晶硅片制绒液，所述单晶硅片通过设置在制绒槽中进行制绒。

5.根据权利要求1所述的单晶硅片制绒液回收装置，其特征在于，所述减压模块为真空泵；所述蒸馏模块为蒸馏塔或蒸馏釜。

6.一种单晶硅片制绒液回收方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：a、提供一蒸馏模块；b、将待回收的单晶硅片制绒液存放至所述蒸馏模块中；c、控制所述蒸馏模块的压力降至一预设压力范围，且控制待回收的单晶硅片制绒液至一预设温度范围；d、维持所述压力和温度一预设时段以对待回收的单晶硅片制绒液进行所述预设时段的蒸馏；e、将蒸馏出的蒸汽进行冷凝且将冷凝所得的液体进行回收利用。

7.根据权利要求6所述的单晶硅片制绒液回收方法，其特征在于，所述回收方法还包括以下步骤：f、将蒸馏模块中残留的溶液进行过滤；g、对滤渣和滤液分别进行回收利用。

8.根据权利要求6所述的单晶硅片制绒液回收方法，其特征在于，在步骤b中，所述预设压力范围为0.04-0.06MP，所述预设温度范围为70-80℃；在步骤d中，所述预设时段为10-30min。

9.根据权利要求6所述的单晶硅片制绒液回收方法，其特征在于，所述单晶硅片制绒液的组分包括氢氧化钠或氢氧化钾、有机溶剂、硅酸钠和水。

10.根据权利要求9所述的单晶硅片制绒液回收方法，其特征在于，所述有机溶剂为异丙醇。