[发明专利]一种高弹性金属薄膜材料无效
| 申请号： | 201210438229.4 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN102912295A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 蒋建中;姜清奎;曹庆平;马毅 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/35;C22C45/04 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 杜军 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 弹性 金属 薄膜 材料 | ||
【权利要求书】：
1. 一种高弹性金属薄膜材料，其特征在于：该材料的化学组成主要含有镍和铌，结构状态为非晶态，薄膜厚度小于1000纳米。
2.按照权利要求1所述的一种高弹性金属薄膜材料，其特征在于：该材料通过镍铌靶材采用磁控溅射技术制备。
3.按照权利要求1所述的一种高弹性金属薄膜材料，其特征在于：该材料密度大于等于7.00 g/cm3，同时密度小于等于10.00 g/cm3。
4.按照权利要求1所述的一种高弹性金属薄膜材料，其特征在于：该材料拉伸断裂前后皆为非晶态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210438229.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
