[发明专利]一种原生多晶碳头料的清洗方法无效

专利信息
申请号: 201210438696.7 申请日: 2012-11-06
公开(公告)号: CN102962224A 公开(公告)日: 2013-03-13
发明(设计)人: 钱新江 申请(专利权)人: 安徽日能中天半导体发展有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人: 余成俊
地址: 237200 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 原生 多晶 碳头料 清洗 方法
【权利要求书】:

1.一种原生多晶碳头料的清洗方法,其特征在于包括以下步骤:

(1)在槽中配置重量比为3-4:1:1的硫酸、氯化锰、双氧水的混合溶液,将多晶碳头料放入混合溶液,浸泡12-14小时;

(2)捞出多晶碳头料后用去离子水冲洗2-3次;

(3)将多晶碳头放入质量比为10-15:0.8-1.2:0.2-0.3的硝酸、氢氟酸、偏硅酸钠的混合溶液中清洗1-3分钟,然后用去离子水冲洗2-3次;

(4)在浓度为0.3-0.5%的高锰酸钾溶液中浸泡1-2小时,然后用去离子水冲洗2-3次;

(5)将多晶碳头料进行超声处理;

(6)捞出多晶碳头料,进行烘干,完成清洗过程。

2.根据权利要求1所述的一种原生多晶碳头料的清洗方法,其特征在于步骤(1)所述的硫酸为浓度为97-98%的电子级硫酸,所述的氯化锰的浓度为20-25%、所述的双氧水的浓度为20-25%。

3.根据权利要求1所述的一种原生多晶碳头料的清洗方法,其特征在于步骤(3)中所述的硝酸是浓度为70-75%的电子级硝酸,所述的氢氟酸浓度为49-55%。

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