[发明专利]一种包含气流式反应仓的反应型扫描隧道显微镜

权利要求书

1.一种包含气流式反应仓的反应型扫描隧道显微镜，其特征在于创新性地提出：构建一种气流式反应仓，并将其集成到扫描隧道显微镜(STM)上，实现了可同时监控样品表面原子结构、又可以测试样品表面化学反应活性或者催化剂催化效率的功能。

2.根据权利要求1所述的气流式反应仓，其特性在于具有极小的体积，约0.5ml。

3.根据权利要求2所述的气流式反应仓，其特性在于可承受2-3个大气压的高压。

4.根据权利要求1所述的气流式反应仓，其特性在于样品被设计成反应仓的一部分墙壁，通过密封圈牢牢固定在反应仓上。

5.根据权利要求1所述的气流式反应仓，前后连接两组极细的气体管道，一组为进气管道，一组为出气管道；根据操作需求使所需的纯净气体或者混合气体进入、排出反应仓。

6.根据权利要求4所述的两组气体管道均配置气流控制系统，可在不改变反应仓压力的情况下，方便地调节气体组分和流量。

7.根据权利要求1所述的反应型扫描隧道显微镜，STM与反应仓的集成通过密封圈实现，反应仓内只有STM的探针，STM的其他部件，如压电陶瓷管等全部置于反应仓外部；这种设计同时满足了反应仓的小体积，同时保证了STM的其他部件不被反应仓内的高压和强烈的气流损坏。

8.根据权利要求4所述的反应仓出气管道，可连接目前最先进的四极质谱仪检测仪器，对气体成分进行检测，从而准确分析反应度或催化转化率。