[发明专利]金刚石线锯装置和方法有效

专利信息
申请号: 201210439545.3 申请日: 2012-10-30
公开(公告)号: CN103252846A 公开(公告)日: 2013-08-21
发明(设计)人: 纳吉布·艾尔·哈达欧 申请(专利权)人: 应用材料瑞士有限责任公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 张欣
地址: 瑞士*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要:
搜索关键词: 金刚石 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种金刚石线锯装置(100),其用于通过金刚石线(230)来切割锭(302、304、306、308),其中金刚石线锯适用于相对于所述锭移动所述金刚石线,所述金刚石线锯装置包括:

金刚石线缺陷检测系统(1),其配置成向所述金刚石线(230)施加交流信号。

2.根据权利要求1所述的金刚石线锯装置,其中所述交流信号是方波信号(800、810、900、910)。

3.根据权利要求1或2所述的金刚石线锯装置,还包括信号测量单元(600),其用于测量在所述金刚石线上的电参数。

4.根据权利要求3所述的金刚石线锯装置,还包括与所述信号测量单元(600)可操作连接的分析模块,其中所述分析模块适用于分析所测量的信号。

5.根据权利要求1或2所述的金刚石线锯装置,还包括电压升高模块,其适用于响应于指示异常条件的测量信号来增加所施加的交流电压的绝对值。

6.根据权利要求1或2所述的金刚石线锯装置,其中所述交流信号具有在1Hz到100Hz之间的频率。

7.根据权利要求1或2所述的金刚石线锯装置,还包括入口,其用于在所述金刚石线锯装置的操作期间将所述水基冷却剂导向所述金刚石线。

8.根据权利要求1或2所述的金刚石线锯装置,其中所述金刚石线的电阻在从0.5Ω/m到10Ω/m的范围内。

9.一种用于操作金刚石线锯装置的方法,所述金刚石线锯装置用于切割锭,所述金刚石线锯装置包括金刚石线,所述方法包括:

a)向所述金刚石线施加交流信号;以及

b)测量所述金刚石线的相应信号。

10.根据权利要求9所述的方法,其中所述交流信号是交流电压。

11.根据权利要求9所述的方法,其中所述交流电压在第一电压值和第二电压值之间振荡。

12.根据权利要求11所述的方法,其中所述第一电压值在高达10V的范围内,并且所述第二电压值具有在高达-10V的范围内的负值。

13.根据权利要求9所述的方法,还包括以2μm/s到15μm/s范围内的进给速率向金刚石线锯进给所述金刚石线的步骤。

14.根据权利要求9所述的方法,其中所施加的交流信号是方波交流信号。

15.根据权利要求9所述的方法,还包括在所述金刚石线锯装置的操作期间将水基冷却剂导向所述金刚石线的步骤。

16.根据权利要求9所述的方法,其中向所述金刚石线施加交流信号的步骤包括以所述信号的基本恒定绝对值控制所述金刚石线上的信号的步骤。

17.根据权利要求9、14、15和16所述的方法,还包括以下步骤:

a)分析所测量的信号;

b)在指示异常条件的测量信号下,增加所施加的信号。

18.根据权利要求17所述的方法,其中如果所述测量信号低于可选择的阈值时,增加所施加的信号。

19.根据权利要求18所述的方法,还包括以下步骤:

a)等待可选择的时间间隔;以及

b)如果所述测量信号没有响应于所施加的信号的增加而高于所述阈值,则停止所述金刚石线锯装置的操作。

20.一种用于使用金刚石线缺陷检测系统来翻新改进金刚石线锯装置的方法,其中所述金刚石线锯装置包括金刚石线,所述方法包括以下步骤:

a)提供被配置成向所述金刚石线施加交流信号的所述金刚石线缺陷检测系统;以及

b)使所述金刚石线缺陷检测系统与所述金刚石线导电地接触。

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