[发明专利]裸片位置判定系统

说明书

本发明提供一种判定利用吸嘴吸附的裸片的位置的裸片位置判定系统，兼顾生产效率提高和裸片的成品率提高这两方面。在晶片托盘(22)的上表面的两个部位设有基准位置标记(41)，并且预先将在以基准位置标记的位置为基准的晶片托盘的坐标系中生成的裸片排列位置信息存储在存储单元中。利用相机来拍摄在裸片拾取装置的规定位置上设置的晶片托盘上的两个基准位置标记，处理该拍摄图像而识别裸片拾取装置的机械坐标系中的两个基准位置标记的位置，计算晶片托盘的坐标系相对于裸片拾取装置的机械坐标系的位置偏差量，根据该位置偏差量来校正裸片排列位置信息，由此求出裸片拾取装置的机械坐标系中的各裸片(21)的排列位置。

技术领域

本发明是涉及判定由吸嘴吸附的裸片的位置的裸片位置判定系统的发明。

背景技术

例如专利文献1(日本特开2006-332417号公报)所记载那样，将铺开有可伸缩的切割片的晶片托盘设置于裸片拾取装置，该切割片粘贴有切割成棋盘格状的晶片，在利用吸嘴来吸附从切割片上的晶片分割出的裸片而进行拾取时，将切割片中的待吸附的裸片的粘贴部分从其正下方利用顶起瓶(裸片推顶器)顶起而使该裸片的粘贴部分从切割片部分地剥离，并同时利用吸嘴吸附该裸片而从切割片拾取。

在该裸片拾取装置中，需要在每次裸片吸附动作中使吸嘴与裸片进行对位，因此在生产开始前，将晶片托盘上的裸片的排列位置的映射数据存储于存储装置，并存储在生产开始后首先吸附的裸片(以下称为“生产开始裸片”)的位置数据，在生产开始时从存储装置读出生产开始裸片和映射数据，从生产开始裸片开始进行拾取，依次拾取相邻的裸片。

这种情况下，设置于裸片拾取装置的晶片托盘的坐标系可能与裸片拾取装置的坐标系产生偏差。因此，在专利文献1中，从切割片上的多个裸片中，将预定的位置的多个裸片设定作为多个参考裸片(参照芯片)，并利用相机来拍摄切割片上的晶片整体(多个裸片)而显示在显示面板上，在该显示画面上，操作者利用手动来示教与形成在晶片的缘部的凹口相邻的一个参考裸片，输入该参考裸片的位置，并以该参考裸片为基准而自动地图像识别其他的参考裸片的位置，基于这多个参考裸片的位置而计测裸片拾取装置的机械坐标系与晶片托盘的坐标系之间的位置偏差量(X、Y、θ坐标的偏差)，校正映射数据。

另一方面，在专利文献2(日本特开2002-26041号公报)中，为了自动地图像识别多个参考裸片，而在晶片制作与作为产品使用的裸片不同的多个专用的参考裸片。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2006-332417号公报

【专利文献2】日本特开2002-26041号公报

然而，在如上述专利文献1那样，将选自切割片上的多个裸片中的、与形成在晶片的缘部的凹口相邻的裸片作为参考裸片的方法中，操作者必须利用手动来示教参考裸片，存在生产效率较低的缺点。而且，可能因作业错误而误指定参考裸片，以致进行错误的数据校正。

另一方面，在专利文献2中，在晶片制作与作为产品使用的裸片不同的多个专用的参考裸片，因此，相应地存在每一张晶片的裸片的成品率下降而成本上升的缺点。

发明内容

因此，本发明要解决的课题在于提供一种裸片位置判定系统，其能够兼顾生产效率提高和裸片的成品率提高这两方面，并能够避免因作业错误引起的参考裸片的误指定。