[发明专利]物理量检测装置、物理量检测器及电子设备

权利要求书

1.一种物理量检测装置，包括：

基部；

可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移；

物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定；

质量部，其被固定在所述可动部上，

所述可动部包括：

第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件；

第二固定部，其上固定有所述质量部；

切口部，其与所述连接部分离，且具有如下的切口形状，即，从所述可动部的侧面起到达至与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉的部位处的切口形状。

2.如权利要求1所述的物理量检测装置，其中，

所述切口部以从所述可动部的一个主面贯穿至另一个主面的方式而被设置。

3.如权利要求1所述的物理量检测装置，其中，

所述切口部是有底的。

4.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的物理量检测装置，其中，

所述切口部被设置于，在俯视观察时不与所述物理量检测元件重叠的位置处。

5.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的物理量检测装置，其中，

所述切口部包括在与所述可动部的旋转轴方向交叉的方向上延伸的结构，

通过所述切口部，从而设置有具有所述第一固定部的第一脚部、和具有所述第二固定部的第二脚部，

在所述第二脚部上，于与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，沿着所述旋转轴方向而存在刚性差，

所述第二脚部的刚性在所述第一脚部侧较低。

6.如权利要求5所述的物理量检测装置，其中，

所述第二脚部在与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，包含开口部。

7.如权利要求5所述的物理量检测装置，其中，

所述第二脚部具有：

第一梁部，其被设置在所述开口部与所述切口部之间；

第二梁部，其被设置在所述开口部、与所述可动部中的沿着与所述旋转轴方向交叉的方向的侧面之间，

所述第一梁部的刚性低于所述第二梁部的刚性。

8.一种物理量检测装置，包括：

基部；

可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移；

物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定；

质量部，其被固定在所述可动部上，

所述可动部包括：

第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件；

第二固定部，其上固定有所述质量部；

孔部，其与所述连接部分离，且与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉。

9.如权利要求8所述的物理量检测装置，其中，

所述孔部以从所述可动部的一个主面贯穿至另一个主面的方式而被设置。

10.如权利要求8所述的物理量检测装置，其中，

所述孔部是有底的。

11.如权利要求8至权利要求10中任一项所述的物理量检测装置，其中，

所述孔部被设置于，在俯视观察时不与所述物理量检测元件重叠的位置处。

12.如权利要求8至权利要求10中任一项所述的物理量检测装置，其中，

所述可动部具有多个开口部，

所述第二固定部被所述孔部及多个所述开口部所包围，

所述可动部具有通过所述孔部及多个所述开口部而被规定了形状的支承部，

所述第二固定部被所述支承部所支承。

13.一种物理量检测器，包括：

权利要求1至权利要求3、权利要求8至权利要求10中任一项所述的物理量检测装置；

封装件，其对所述物理量检测装置进行收纳。

14.一种电子设备，包括：

权利要求1至权利要求3、权利要求8至权利要求10中任一项所述的物理量检测装置。