[发明专利]物理量检测器

权利要求书

1.一种物理量检测器，其特征在于，

具备：

受压部，其包括受到压力而发生位移的位移部、和被设置于所述位移部的外周的外周部；

保持部件，其包括在俯视观察时呈圆周状的固定部、以及在俯视观察时从所述固定部的内周朝向中心而突出的突出部，

所述突出部具有开口，并被配置于所述受压部的一个面侧，所述固定部对所述外周部进行保持，以便在从所述突出部侧进行俯视观察时，所述受压部的一个面侧上的、所述位移部的至少一部分存在于所述开口内，

所述物理量检测器还具备：

支承体，其被固定在所述突出部上；

压敏元件，其包括被固定在所述位移部的所述至少一部分上的第一基部、被固定在所述支承体上的第二基部、和被设置在所述第一基部与所述第二基部之间的压敏部，所述第一基部和所述第二基部以在所述位移部进行位移的方向上并排的方式而被立起设置。

2.如权利要求1所述的物理量检测器，其特征在于，

所述突出部以环状的形式被设置在所述固定部上。

3.如权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于，

所述支承体具备:

柱部件，其被立起设置在所述突出部上；

梁部件，其对所述柱部件和所述第二基部进行连结。

4.如权利要求3所述的物理量检测器，其特征在于，

所述柱部件在从所述位移部进行位移的方向侧进行俯视观察时，被配置于所述位移部的区域内。

5.如权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于，

所述突出部上的固定有所述支承体的部分与所述第一基部的并排方向，正交于所述位移部进行位移的方向。

6.如权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于，

包括与所述位移部相接合的固定部件，

所述第一基部被固定在所述固定部件上。

7.如权利要求3所述的物理量检测器，其特征在于，

所述柱部件和所述梁部件由互不相同的材料构成。

8.如权利要求7所述的物理量检测器，其特征在于，

所述压敏元件由压电体材料构成，

所述柱部件由具有与所述压电体材料同等或近似的热膨胀系数的材料构成。

9.如权利要求7所述的物理量检测器，其特征在于，

所述梁部件由具有与所述保持部件和所述受压部中的至少某一个同等或近似的热膨胀系数的材料构成。

10.如权利要求9所述的物理量检测器，其特征在于，

所述保持部件由具有与所述受压部的构成材料同等或近似的热膨胀系数的材料构成。

11.如权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于，

所述压敏元件在所述压敏部中具备一根以上的振动梁。

12.如权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于，

所述压敏元件为厚度切变振子。