[发明专利]一种锥镜检测装置及其检测方法无效
| 申请号： | 201210441565.4 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103063154A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 程珂;叶青;魏向荣;施丽敏;李旭峰;査雨;顾亚平 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 及其 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种锥镜检测装置，其特征在于由斐索干涉仪、具有圆形光栅的玻璃基底组成，所述的玻璃基底的A面作为参考平面，B面用光刻法制作成圆形光栅，作为光栅面，所述玻璃基底的光栅面B与所述斐索干涉仪输出的单色平行光垂直。
2.一种利用权利要求1所述的锥镜检测装置检测锥镜的方法，其特征在于该方法包括下列步骤：
①在所述的斐索干涉仪输出的单色平行光依次设置所述的玻璃基底和待测的锥镜，该锥镜的锥面与所述的斐索干涉仪输出的单色平行光相向；
②启动所述的斐索干涉仪，调整所述的玻璃基底，使所述的玻璃基底的参考平面A与所述的斐索干涉仪输出的单色平行光垂直，在所述的斐索干涉仪输出的单色平行光方向并在所述的玻璃基底的光栅面B外设置待测锥镜，调整待测锥镜，使所述的待测锥镜的中轴线与所述的斐索干涉仪输出的单色平行光平行，并在所述的斐索干涉仪的目镜中观察到清晰的干涉条纹；
③利用斐索干涉仪对所述的待测锥镜进行测量，斐索干涉仪输出待测锥镜的结果。
3.根据权利要求2所述的检测锥镜的方法，其特征在于，所述的待测锥镜为凸面锥镜或凹面锥镜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海现代先进超精密制造中心有限公司，未经上海现代先进超精密制造中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210441565.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
