[发明专利]产品缺陷检测方法

权利要求书

1.一种产品缺陷检测方法，包括：

预先对产品进行编号，并对制程设备进行编号、分类，形成将产品编号与对应制程设备编号、设备分类相互映射关联的产品待检测信息；

根据产品待检测信息选择需要被检测的制程设备分类，并判断是否有可用的检测站点，当没有可用检测站点时，则判定产品不进站检测；

若有可用检测站点则获取预定时间内制程设备状态，并判断在预定时间内制程设备状态是否异常，以及制程设备未检测时间是否超过预定时间，若制程设备状态异常或制程设备未检测时间超过预定时间，则根据产品待检测信息将状态异常或制程设备未检测时间超过预定时间的制程设备对应的产品进站检测；

若判定存在状态无异常且未检测时间未超过预定时间的制程设备，则进一步判断制程设备是否有缺陷分析结果，若无缺陷分析结果则根据产品待检测信息将无缺陷分析结果的制程设备对应的产品进站检测；

若有缺陷分析结果则判断制程设备的缺陷分析结果是否在允收范围内，若分析结果在允收范围内则根据产品待检测信息判定分析结果在允收范围内的制程设备所对应的产品不进站检测；

若分析结果在允收范围外则根据产品待检测信息将分析结果在允收范围外的制程设备所对应的产品进站检测。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待检测信息还包括根据不同产品通过相同制程设备的时间先后设置由高到低的检测优先级信息。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，判定进站检测的产品根据检测优先级信息的高低先后进站检测。

4.根据权利要求1至3任一项所述的方法，其特征在于，所述产品编号包括产品型号、产品批次以及晶圆编号，所述设备编号包括机台编号、部件编号和零件编号。