[发明专利]一种板式PECVD石墨块镀膜用挂钩组件

权利要求书

1.一种板式PECVD石墨块镀膜用挂钩组件，包括挂钩和挡片，石墨框上设有多个用于放置硅片的框格，所述的挂钩设置在石墨框的框格四周，所述的挡片设置在硅片四周，所述的挂钩包括本体和本体两侧的钩体，其特征在于，所述的钩体的钩间距≤2.5mm，钩体内侧呈圆弧导角状，使硅片镀膜后丝网印刷钩点都在栅线以外。

2.根据权利要求1所述的一种板式PECVD石墨块镀膜用挂钩组件，其特征在于，所述的钩体的钩间距为2mm。

3.根据权利要求1所述的一种板式PECVD石墨块镀膜用挂钩组件，其特征在于，所述的挡片呈U型状，其一边底部设有凸起，该凸起的高度大于硅片水平放置位置2mm，防止硅片滑出。