[发明专利]宽束离子源增加反射极的装置无效
| 申请号： | 201210449052.8 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN103811254A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 牟增海 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子源 增加 反射 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种高能离子注入机离子源结构，包括：(1)、中间反射板(2)、反射板支杆(3)、源壳体(4)、弧室(5)、弧室支撑底板(6)、L型电极连接杆(7)、弹性夹(8)、长圆形绝缘块(9)、安装板。其特征在于：通过在弧室中部设置一平板反射极，将整体弧室空间分隔为两个相对独立、空间缩小的弧室空间，以提高放电等离子体的密度，增强引出束流；同时通过两端弧室的基本独立控制，以调节引出束流的均匀性分布。
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