[发明专利]螺旋形波导线圈结构的太赫兹波偏振分束器有效
| 申请号： | 201210449769.2 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102928928A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 李九生 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G02B6/27 | 分类号： | G02B6/27 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 315470 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 螺旋形 波导 线圈 结构 赫兹 偏振 分束器 | ||
1.一种螺旋形波导线圈结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于包括信号输入端（1）、第一信号输出端（2）、第二信号输出端（3）、倒置Ω形输入波导（4），竖直Ω形输出波导（5）、太极形波导区域（6）、水平倒置L形波导线圈（7）；太极形波导区域（6）是由从中心绕出的螺旋形波导线圈组成，太极形波导区域（6）的出口端与水平倒置L形波导线圈（7）连接，水平倒置L形波导线圈（7）与倒置Ω形输入波导（4）的凹处耦合连接，太极形波导区域（6）的出口端与竖直Ω形输出波导（5）的凹处耦合连接，信号从信号输入端（1）输入，分束波分别从第一信号输出端（2），第二信号输出端（3）输出。
2.根据权利要求1所述的一种螺旋形波导线圈结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的波导的材料为硅，波导的厚度均为20μm~30μm。
3.根据权利要求1所述的一种螺旋形波导线圈结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的倒置Ω形输入波导（4）是由左右两条水平波导和一条凹形波导组成，左侧水平波导的长度为200μm~300μm，宽度为30μm~50μm，右侧水平波导的长度为100μm~200μm，宽度为30μm~50μm；凹形波导的长度为100μm~200μm，宽度为30μm~50μm，凹形波导的深度为20μm~30μm。
4.根据权利要求1所述的一种螺旋形波导线圈结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的竖直Ω形输出波导（5）由上下两条竖直波导和一条凹形波导组成，上侧竖直波导的长度为100μm~200μm，宽度为30μm~50μm，下侧竖直波导的长度为200μm~300μm，宽度为30μm~50μm；凹形波导的长度为200μm~300μm，宽度为30μm~50μm，凹形波导的深度为20μm~30μm。
5.根据权利要求1所述的一种螺旋形波导线圈结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的太极形波导区域（6）的螺旋形波导线圈的宽为30μm~50μm，波导线圈之间的间距为100μm~150μm，最外圈的半径为1200μm~1500μm。
6.根据权利要求1所述的一种螺旋形波导线圈结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的水平倒置L形波导线圈（7）的长度为1600μm~2000μm，宽度为800μm~1200μm，波导线圈的宽度为30μm~50μm，波导线圈之间的间距为200μm~300μm。
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