[发明专利]L形缝隙结构的太赫兹波偏振分束器

权利要求书

1.一种L形缝隙结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于包括信号输入端（1）、第一信号输出端（2）、第二信号输出端（3）、基板（4）、水平倒置L形缝隙（5）、矩形环缝隙（6）、圆环缝隙（7）、汤勺形缝隙（8）；基板（4）上设有水平倒置L形缝隙（5），水平倒置L形缝隙（5）包括顺次相连的竖直短臂（9）、圆弧耦合缝隙（10）、水平长臂（11），水平倒置L形缝隙（5）的竖直短臂（9）的上端与信号输入端（1）连接，水平倒置L形缝隙（5）的水平长臂（11）与第一信号输出端（2）连接，水平倒置L形缝隙（5）的竖直短臂（9）的右侧依次设有矩形环缝隙（6）、圆环缝隙（7）和汤勺形缝隙（8），汤勺形缝隙（8）包括顺次相连的四分之三开口圆环（12）、四分之一圆弧段（13）和水平缝隙（14），水平缝隙（14）的右端与第二信号输出端（3）连接；太赫兹波信号从信号输入端（1）输入，TE波经过水平倒置L形缝隙（4），直接从第一信号输出端（2）输出；通过矩形环缝隙（5）、圆环缝隙（6）的耦合作用，TM波经汤勺形缝隙（8），从第二信号输出端（3）输出，实现偏振分束的功能。

2.根据权利要求1所述的一种L形缝隙结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的基板（4）的材料为硅，基板（4）的长度为1500μm~1800μm，宽度为600μm~700μm，高度为300μm~400μm。

3.根据权利要求1所述的一种L形缝隙结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的缝隙的宽度均为50μm~60μm，缝隙的深度均为100μm~150μm。

4.根据权利要求1所述的一种L形缝隙结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的水平倒置L形缝隙（5）的竖直短臂（9）的长度为350μm~400μm，圆弧耦合缝隙（10）的外侧圆弧半径为150μm~180μm，水平长臂（11）的长度为1000μm~1200μm。

5.根据权利要求1所述的一种L形缝隙结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的矩形环缝隙（6）的外环长度为280μm~300μm，外环宽度为240μm~260μm。

6.根据权利要求1所述的一种L形缝隙结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的圆环缝隙（7）和四分之三开口圆环（12）的外环半径均为120μm~130μm；所述的四分之一圆弧段（13）的圆弧半径为120μm~130μm；所述的水平缝隙（14）的长度为300μm~350μm。

7.根据权利要求1所述的一种L形缝隙结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的竖直短臂（9）和水平长臂（11）分别与矩形环缝隙（6）、圆环缝隙（7）、汤勺形缝隙（8）之间的间隔距离相等，均为30μm~40μm。

8.根据权利要求1所述的一种L形缝隙结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的矩形环缝隙（6）、圆环缝隙（7）、汤勺形缝隙（8）之间的间隔距离相等，均为20μm~30μm。