[发明专利]一种低Pd含量的耐蚀涂层的制备方法无效
申请号: | 201210451147.3 | 申请日: | 2012-11-12 |
公开(公告)号: | CN103806035A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 刘茂见 | 申请(专利权)人: | 无锡三洲冷轧硅钢有限公司 |
主分类号: | C25D3/56 | 分类号: | C25D3/56 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 武春华 |
地址: | 214100 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 pd 含量 涂层 制备 方法 | ||
1.一种低Pd含量的耐蚀涂层的制备方法,依次包括表面预处理和电镀步骤,其特征在于,电镀步骤中所用的电镀液组成为:
润湿剂为十二烷基磺酸钠、己基乙基硫酸钠、失水山梨醇酯的混合物,其重量比为1:1-2:1-2;
其余为水;
工艺参数为:
用盐酸或氨水调节镀液pH值至1~3,施镀时间为5~60分钟,温度为30℃~50℃,脉冲电镀,搅拌。
脉冲电镀参数为:脉冲电源的工作方式为自动,恒流状态和均值状态;正向均值电流为2.0-8.0A,反向均值电流为0.1-0.5A,正向电流导通时间为0.8ms,正向电流关闭时间为0.2ms,正向脉冲循环时间为10ms,反向电流导通时间为0.1ms,反向电流关闭时间为0.9ms,反向脉冲循环时间为2ms。
2.根据权利要求1的方法,所述铬盐CrCl3·6H2O为100g/L;所述钯盐Pd(CH3COO)2为2g/L。
3.根据权利要求1的方法,所述H2C2O4·2H2O为10g/L;所述HCOONa为80g/L;所述CH3COONa为40g/L。
4.根据权利要求1的方法,所述NH4Cl为130g/L。
5.根据权利要求1的方法,所述KBr为30g/L。
6.根据权利要求1的方法,所述KCl为70g/L。
7.根据权利要求1的方法,所述H3BO3为70g/L。
8.根据权利要求1的方法,所述NaF为2g/L。
9.根据权利要求1的方法,所述润湿剂为4g/L,润湿剂为十二烷基磺酸钠、己基乙基硫酸钠、失水山梨醇酯的混合物,其重量比为1:2:2。
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