[发明专利]一种低Pd含量的耐蚀涂层的制备方法无效

专利信息
申请号: 201210451147.3 申请日: 2012-11-12
公开(公告)号: CN103806035A 公开(公告)日: 2014-05-21
发明(设计)人: 刘茂见 申请(专利权)人: 无锡三洲冷轧硅钢有限公司
主分类号: C25D3/56 分类号: C25D3/56
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 武春华
地址: 214100 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 pd 含量 涂层 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种低Pd含量的耐蚀涂层的制备方法,依次包括表面预处理和电镀步骤,其特征在于,电镀步骤中所用的电镀液组成为:

润湿剂为十二烷基磺酸钠、己基乙基硫酸钠、失水山梨醇酯的混合物,其重量比为1:1-2:1-2;

其余为水;

工艺参数为:

用盐酸或氨水调节镀液pH值至1~3,施镀时间为5~60分钟,温度为30℃~50℃,脉冲电镀,搅拌。

脉冲电镀参数为:脉冲电源的工作方式为自动,恒流状态和均值状态;正向均值电流为2.0-8.0A,反向均值电流为0.1-0.5A,正向电流导通时间为0.8ms,正向电流关闭时间为0.2ms,正向脉冲循环时间为10ms,反向电流导通时间为0.1ms,反向电流关闭时间为0.9ms,反向脉冲循环时间为2ms。

2.根据权利要求1的方法,所述铬盐CrCl3·6H2O为100g/L;所述钯盐Pd(CH3COO)2为2g/L。

3.根据权利要求1的方法,所述H2C2O4·2H2O为10g/L;所述HCOONa为80g/L;所述CH3COONa为40g/L。

4.根据权利要求1的方法,所述NH4Cl为130g/L。

5.根据权利要求1的方法,所述KBr为30g/L。

6.根据权利要求1的方法,所述KCl为70g/L。

7.根据权利要求1的方法,所述H3BO3为70g/L。

8.根据权利要求1的方法,所述NaF为2g/L。

9.根据权利要求1的方法,所述润湿剂为4g/L,润湿剂为十二烷基磺酸钠、己基乙基硫酸钠、失水山梨醇酯的混合物,其重量比为1:2:2。

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