[发明专利]真空腔体用自旋转装置

说明书

技术领域

本发明属于真空设备领域，涉及一种用于有毒、有害、有腐蚀性气体密闭腔体内部可自旋转的装置，具体的说是一种真空腔体用自旋转装置。 

背景技术

真空腔体中一般都需要配置旋转装置，尤其是在半导体、微电子真空设备中，就要兼顾工艺中对均匀性和真空腔体的密闭性的高要求，现有设备的旋转装置都是由转动电机带动传动轴方式给真空腔体内部提供旋转动力源。此种方法对转动轴和真空腔体之间的转动密封要求很高，既要转动顺畅又要保证转动时的密封性，而且要防止长时间的转动后密封处的防磨损。 

用电机带动转动轴的传动装置中密封的方法一般有两种：  

①密封圈（O-ring）密封：在转动轴与真空腔体衔接处上加入密封圈。优点是价格便宜，维修、更换简单。但密封圈易磨损、密封性差、稳定性差、防腐蚀性差，多用于真空度要求不高的设备。 

②磁流体密封：磁流体密封技术是在磁性流体的基础上发展而来的，当磁流体注入磁场的间隙时，它可以充满整个间隙，形成一种“液体的O型密封圈”。磁流体密封装置的功能是把旋转运动传递到密封容器内，常用于真空密封。优点是密封效果好、稳定、多由于真空度要求高的设备。但磁流体密封装置 价格昂贵，结构复杂且更换安装繁琐。  

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种真空腔体用自旋转装置，其不仅结构简单，而且能满足转动顺畅和转动时的气密性要求。 

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空腔体用自旋转装置，包括旋转托盘、壳体和设于所述壳体内的螺旋状发条、内外斜齿齿轮、定向旋转叉和转动轴，所述内外斜齿齿轮为环形轮，该环形轮的内侧面沿其周向依次设有朝向同一方向的若干个内斜齿，该环形轮的外侧面上沿其周向依次设有朝向同一方向的若干个外斜齿，且该环形轮的内斜齿和外斜齿的倾斜方向相反；所述转动轴上端固定于所述旋转托盘上，所述转动轴下端依次穿过所述内外斜齿齿轮、发条和外壳；所述定向旋转叉包括若干个止档部，该定向旋转叉的中心固定于所述转动轴上，该定向旋转叉的若干个止档部的末端分别抵靠所述内外斜齿齿轮的内斜齿上使所述内外斜齿齿轮仅能相对该定向旋转叉朝与所述内斜齿倾斜方向相同的方向旋转而朝另一个相反的方向止转；所述螺旋状发条的内端固定于所述转动轴上，所述螺旋状发条的外端固定于所述壳体上；在所述壳体内侧面上设有若干个棘爪，该若干个棘爪的末端抵靠所述内外斜齿齿轮的外斜齿使该内外斜齿齿轮仅能相对所述棘爪朝向与所述外斜齿的倾斜方向相同的方向旋转而朝向另一个相反的方向止转。 

作为本发明的进一步改进，在所述转动轴上还固设一置物 托盘，该置物托盘位于所述定向旋转叉和旋转托盘之间。 

作为本发明的进一步改进，所述定向旋转叉上的止档部为三个，且该三个止档部均布于该定向旋转叉上。 

作为本发明的进一步改进，所述壳体呈一端开口的圆柱形。 

作为本发明的进一步改进，所述棘爪为三个，该三个棘爪均布于所述壳体的内侧面上。 

本发明还提供一种如上所述的真空腔体用自旋转装置带动物体旋转的方法。 

本发明的有益效果是：本发明通过用发条自旋转装置来代替电机转动轴的旋转方式，解决转动轴密封的问题。通过在真空腔体内内置一个自旋转装置来解决真空度要求极高和通入有毒、有害、有腐蚀性气体的真空设备的电机转轴带动旋转的密封问题。具有以下优点：①为设备提供旋转动力源，解决了旋转的工艺问题。②取代了电机带动转轴给真空腔体内提供动力源的传统旋转的方式，此种装置的旋转处密封的技术难题也仍刃而解。③解决了现有转动方式引起的真空度下降问题。④减小了现有转动方式在通入有毒、有害、有腐蚀性工艺气体泄露的几率。⑤节约成本，提高效率。 

附图说明

图1为本发明分解结构示意图。 

结合附图，作以下说明： 

1——旋转托盘                2——壳体 

3——发条                    4——内外斜齿齿轮 

5——定向旋转叉              6——转动轴 

41——内斜齿                 42——外斜齿 

51——止档部                 7——棘爪 

8——置物托盘 

具体实施方式

结合附图，对本发明作详细说明，但本发明的保护范围不限于下述实施例，即但凡以本发明申请专利范围及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖范围之内。