[发明专利]一种全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法，所述电解质薄膜为氮化磷酸锂薄膜，其特征在于：所述的氮化磷酸锂薄膜为非晶无定形态，所述制备方法采用射频磁控溅射方法，具体包括依次进行的如下步骤：

①、以相对密度大于等于99%、纯度大于99.9%的Li₃PO₄作为靶材，安装好靶材和基片后，关闭溅射室，将溅射室抽真空至1.0×10^-4Pa或以下，充入1个大气压的氦气与氢气的混合气体，混合气体中，氦气与氢气的体积比为0.2~1:1，再将室内气体压强抽至0.1~3Pa；

②、预溅射，以清理靶材表面的氧化层和杂质；

③、设定溅射功率范围为1W/cm²~6W/cm²，靶基距离为40mm~100mm，溅射时间为2~10小时，形成非晶无定形态的氮化磷酸锂薄膜。

2.根据权利要求1所述的全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法，其特征在于：作为靶材的Li₃PO₄的厚度为4~8mm。

3.根据权利要求1或2所述的全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法，其特征在于：步骤 ①中，所述混合气体中，氦气与氢气的体积比为0.2~0.5:1。

4.根据权利要求1或2所述的全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法，其特征在于：步骤③中，设定溅射功率为2 W/cm²~5W/cm²，溅射时间为2~6小时。

5.一种如权利要求1至4所述的全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法制备所得全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜，其特征在于：所述电解质薄膜为非晶无定形态的氮化磷酸锂薄膜，其离子电导率大于2*10^-6S/cm。

6.根据权利要求5所述的全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜，其特征在于：所述的氮化磷酸锂薄膜的厚度为5~500nm。

7.根据权利要求6所述的全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜，其特征在于：所述的氮化磷酸锂薄膜的厚度为50~500nm。

8.根据权利要求7所述的全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜，其特征在于：所述的氮化磷酸锂薄膜的厚度为50~200nm。