[发明专利]三维金属微纳米器件的制备方法

权利要求书

1.一种制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

利用飞秒激光束在第一光刻胶中形成聚合物第一结构；

对聚合物第一结构表面进行活化；

用第二光刻胶覆盖经活化的聚合物第一结构；

利用飞秒激光束在第二光刻胶中形成部分地接触第一结构的第二结构，得到部分地暴露经活化的第一结构表面的复合体；以及

在电镀液中对所述复合体进行无极电镀，在所述暴露的第一结构表面上形成金属薄膜，得到三维金属微纳米器件。

2.如权利要求1所述的制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，所述的第一光刻胶和所述第二光刻胶选自可用于紫外曝光的负性光刻胶和正性光刻胶。

3.如权利要求1所述的制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，所述第一光刻胶和第二光刻胶相同或不同。

4.如权利要求1所述的制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，所述的活化步骤进一步包括：

将所述聚合物第一结构浸泡在二价锡盐的水溶液中，使聚合物表面吸附二价锡离子。

5.如权利要求1所述的制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，所述第二结构部分地接触所述第一结构。

6..如权利要求1所述的制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，所述第二结构部分地覆盖、缠绕、包埋、填充第一结构。

7.如权利要求1所述的制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，所述的无极电镀步骤包括如下步骤：

将所述复合体在电镀液中浸泡时间为10s～5h，优选时间为10min～60min。

8.如权利要求1所述的制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，所述电镀液包括金属盐溶液和还原剂。

9.如权利要求8所述的制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，所述金属盐溶液包括选自镍、钴、铜、银或金的硫酸盐、氯化物、醋酸盐和氰酸盐的金属盐和选自醋酸铵、醋酸钠、草酸、草酸钠和柠檬酸钠的配位体。

10.如权利要求8所述的制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，所述还原剂包括次磷酸盐、含硼化合物和含醛基化合物中的一种或多种。