[发明专利]扫描电镜的电子束的检测方法、微细图形的检测方法

权利要求书

1.一种扫描电镜的电子束的检测方法，其特征在于，包括：

提供检测样品，所述检测样品表面形成有沿第一方向的直线图形；

提供相同曝光工艺下标准模型的功率谱密度曲线；

通过扫描电镜获取所述检测样品的直线图形的边缘轮廓；

以固定采样频率对检测样品的直线图形的边缘轮廓进行采样，得到各采样点处的直线图形沿第二方向的变化幅度，所述第二方向垂直于第一方向；

根据所述变化幅度，得到检测样品的功率密度曲线；

比较检测样品的功率密度曲线和标准模型的功率密度曲线，判断电子束在第二方向上的质量是否合格。

2.如权利要求1所述的扫描电镜的电子束的检测方法，其特征在于，所述标准模型的功率谱密度曲线的获得方法为：提供多个试验样品，所述试验样品形成有沿第一方向的直线图形，且在试验样品上形成所述第一方向的直线图形时的曝光工艺、与在检测样品上形成第一方向的直线图形时的曝光工艺相同；通过扫描电镜获取各试验样品上的直线图形的边缘轮廓；以固定采样频率对各试样样品上的直线图形的边缘轮廓尺寸进行采样，获得各采样点处的直线图形沿第二方向的变化幅度；根据各直线图形在各采样点处的变化幅度，得到各试验样品的功率谱密度曲线；对各试验样品的功率谱密度曲线进行平均。

3.如权利要求2所述的扫描电镜的电子束的检测方法，其特征在于，所述固定采样频率小于等于所述扫描电镜沿第一方向的分辨率的1/2。

4.如权利要求2所述的扫描电镜的电子束的检测方法，其特征在于，所述固定采样频率为0.3×10-1纳米-1-100纳米-1。

5.如权利要求1或2所述的扫描电镜的电子束的检测方法，其特征在于，根据所述变化幅度，得到对应样品的功率密度曲线的步骤包括：获取变化幅度与各采样频率的离散数列；根据所述离散数列获得两者的自相关函数；采用傅里叶变换的方法，根据模型PSD=F（ζ，var（ω）），其中ζ为表征边缘毛糙的相关长度的参量，ω为该样品的直线图形在第二方向上的变化幅度，var（ω）为上述变化幅度的标准方差的平方，绘出对应样品的功率谱密度曲线。

6.如权利要求1所述的扫描电镜的电子束的检测方法，其特征在于，判断电子束在第二方向上的质量是否合格的步骤为：提供第一预设面积；计算检测样品的功率密度曲线和标准模型的功率密度曲线之间的面积；当所述面积大于第一预设面积时，电子束在第二方向上的质量不合格，当所述面积小于等于所述第一预设面积时，电子束在第二方向上的质量合格。

7.如权利要求6所述的扫描电镜的电子束的检测方法，其特征在于，还包括：

当电子束在第二方向上的质量不合格时，重新调试扫描电镜，直至所述面积小于等于所述第一预设面积。

8.如权利要求6所述的扫描电镜的电子束的检测方法，其特征在于，还包括：

判断电子束在第一方向上的质量是否合格。

9.一种微细图形的检测方法，其特征在于，包括：

提供检测样品，所述检测样品表面形成有沿第一方向的直线图形；

提供相同曝光工艺下标准模型的功率谱密度曲线；

通过扫描电镜获取所述检测样品的直线图形的边缘轮廓；

以固定采样频率对检测样品的直线图形的边缘轮廓进行采样，得到各采样点处的直线图形沿第二方向的变化幅度，所述第二方向垂直于第一方向；

根据所述变化幅度，得到检测样品的功率密度曲线；

比较检测样品的功率密度曲线和标准模型的功率密度曲线，判断电子束在第二方向上的质量是否合格；

采用经上述方法检测后质量合格的电子束，对形成有微细图形的待检测件进行检测。

10.如权利要求9所述的微细图形的检测方法，其特征在于，所述标准模型的功率谱密度曲线的获得方法为：提供多个试验样品，所述试验样品形成有沿第一方向的直线图形，且在试验样品上形成所述第一方向的直线图形时的曝光工艺与在检测样品上形成第一方向的直线图形时的曝光工艺相同；通过扫描电镜获取各试验样品上的直线图形的边缘轮廓；以固定采样频率对各试样样品上的直线图形的边缘轮廓尺寸进行采样，获得各采样点处的直线图形沿第二方向的变化幅度；根据各直线图形在各采样点处的变化幅度，得到各试验样品的功率谱密度曲线；对各试验样品的功率谱密度曲线进行平均。