[发明专利]钛掺杂硼酸盐发光薄膜、制备方法及其应用

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种钛掺杂硼酸盐发光薄膜及其制备方法、以及薄膜电致发光器件及其制备方法。

【背景技术】

薄膜电致发光显示器(TFELD)由于其主动发光、全固体化、耐冲击、反应快、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，已引起了广泛的关注，且发展迅速。目前，研究彩色及至全色TFELD，开发多波段发光的薄膜，是该课题的发展方向。但是，可应用于薄膜电致发光显示器的钛掺杂硼酸盐发光薄膜，仍未见报道。

【发明内容】

基于此，有必要提供一种可应用于薄膜电致发光器件的钛掺杂硼酸盐发光薄膜及其制备方法、以及薄膜电致发光器件及其制备方法。

一种钛掺杂硼酸盐发光薄膜，其化学式为MeB₄O₇：xTi⁴⁺，其中MeB₄O₇是基质，钛元素是激活元素，0.01≤x≤0.05，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。

一种钛掺杂硼酸盐发光薄膜的制备方法，包括以下步骤：

将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为1.0×10^-2Pa~1.0×10^-3Pa；

调节衬底的温度为250℃~650℃，转速为50转/分钟~1000转/分钟，采用氩气气流的载体，根据MeB₄O₇：xTi⁴⁺各元素的化学计量比将Me(C₅H₅)₂、BH₃和四异丙醇钛通入反应室内，及

然后通入氧气，进行化学气相沉积得到钛掺杂硼酸盐发光薄膜其化学式为MeB₄O₇：xTi⁴⁺，其中MeB₄O₇是基质，钛元素是激活元素，0.01≤x≤0.05，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。

在优选的实施例中，Me(C₅H₅)₂、BH₃和四异丙醇钛摩尔比为1：4：（0.01~0.05）。

在更优选的实施例中，Me(C₅H₅)₂、BH₃和四异丙醇钛摩尔比为1：4：0.02。

在优选实施例中，氩气气流量为5~15sccm，氧气气流量为10~200sccm。

一种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、阳极层、发光层以及阴极层，所述发光层的材料为钛掺杂硼酸盐发光薄膜，该钛掺杂硼酸盐发光薄膜的化学式为MeB₄O₇：xTi⁴⁺，其中MeB₄O₇是基质，钛元素是激活元素，0.01≤x≤0.05，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。

在优选的实施例中，发光层的厚度为80nm~300nm。

一种薄膜电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：

提供具有阳极的衬底；

在所述阳极上形成发光层，所述发光层的材料为钛掺杂硼酸盐发光薄膜，该钛掺杂硼酸盐发光薄膜的化学式为MeB₄O₇：xTi⁴⁺，其中MeB₄O₇是基质，钛元素是激活元素，0.01≤x≤0.05，Me为Mg、Ca、Sr或Ba；

在所述发光层上形成阴极。

在优选的实施例中，所述发光层的制备包括以下步骤：

将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为1.0×10^-2Pa~1.0×10^-3Pa；

调节衬底的温度为250℃~650℃，转速为50转/分钟~1000转/分钟，采用氩气气流的载体，根据MeB₄O₇：xTi⁴⁺各元素的化学计量比将Me(C₅H₅)₂、BH₃和四异丙醇钛通入反应室内，其中，氩气气流量为5~15sccm，及