[发明专利]一种湿度敏感薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种湿度敏感薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1）取分析纯的六水合硝酸钴（Co(NO₃)₂·6H₂O）和能够完全溶解六水合硝酸钴（Co(NO₃)₂·6H₂O）的分析纯无水乙醇（C₂H₅OH），将分析纯的六水合硝酸钴（Co(NO₃)₂·6H₂O）溶解于分析纯无水乙醇（C₂H₅OH）中，然后再向其中缓慢加入分析纯的酞酸丁酯（Ti(OC₄H₉)₄），配制成Co²⁺：Ti⁴⁺＝1：（0.5～3）摩尔比的混合溶液，常温下充分搅拌得到均匀的红色透明溶液A；

2）向溶液A中缓慢滴加柠檬酸水溶液，调节溶液pH值为1.0～7.0，得到紫红色溶胶B；

3）将溶胶B在20℃～60℃静置10h～48h，得到凝胶C；

4）将清洗干净的基片浸入凝胶C中静置2s～60s，以1cm/min～10cm/min的提拉速度竖直匀速提拉镀膜，并立即放入50℃烘箱中干燥，以镀膜的重复次数控制薄膜的厚度；

5）干燥后的薄膜在300℃～700℃下退火处理1h～8h，随炉冷却得到目标产物--CoTiO₃湿度敏感薄膜。

2.根据权利要求1所述的湿度敏感薄膜的制备方法，其特征在于：所述的基片的清洗是将待镀膜的基片放入体积比为1：（3～8）的丙酮、乙醇混合溶液中超声清洗，超声功率50W，清洗好的基片用去离子水冲洗，氮气吹干。