[发明专利]化学气相沉积装置及其清洁方法

权利要求书

1.一种化学气相沉积装置，包括：反应腔、传输腔，所述反应腔具有顶壁，所述反应腔底部设置有承载部件，所述反应腔设置有加热器与致动装置，所述传输腔内设置有传输装置用以在所述传输腔和所述反应腔之间传输待处理或处理完毕的基片或承载有基片的板部件，所述承载部件具有承载面，其特征在于，所述化学气相沉积装置还包括清洁工具，所述清洁工具具有刮擦部和固定部，所述反应腔具有清洁工具安装部，当所述固定部安装在清洁工具安装部上时，所述致动装置驱动所述承载面使其相对所述清洁工具运动以使得所述清洁工具对所述承载面进行清洁，当翻转所述清洁工具后，并将所述固定部设置在所述承载面上时，所述致动装置驱动所述承载面运动，以使得所述清洁工具接触所述顶壁并相对所述顶壁运动以对所述顶壁进行清洁。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述清洁工具安装部设置于所述反应腔的顶壁。

3.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述反应腔顶壁包括面向所述承载部件的顶面，所述顶面的至少一部分为出气表面。

4.如权利要求3所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述顶壁具有喷淋组件，所述出气面为所述喷淋组件面向所述承载部件的表面，所述清洁工具安装部设置在所述喷淋组件四周。

5.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述反应腔的顶壁具有检测孔，所述检测孔为所述清洁工具安装部。

6.如权利要求5所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述顶壁具有喷淋组件，所述检测孔设置在所述喷淋组件上。

7.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述清洁工具包括若干子清洁部，所述子清洁部由所述传输装置在所述传输腔和所述反应腔之间传输。

8.如权利要求7所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述子清洁部为扇形结构，所述清洁工具为所述子清洁部拼接而成的圆环形盘或圆形盘。

9.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述清洁工具的翻转在所述传输腔内完成。

10.如权利要求9所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述传输装置将所述清洁工具传输到所述传输腔后将所述清洁工具翻转。

11.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述化学气相沉积装置传输腔内包括基片架，所述基片架用以放置所述基片和所述清洁工具。

12.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述传输腔为真空传输腔。

13.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述刮擦部包括多个刷子单元。

14.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述刮擦部包括多个刷布单元。

15.如权利要求13所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述刷子单元具有基板及至少一种刷毛。

16.如权利要求15所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述刷毛的材质包括尼龙(nylon)、高铬调制不锈钢(SST)、铜及其合金(copper&alloy)、炭纤维(carbon fiber)、碳纳米管(carbon nanotubes)、炭纤维网(carbon mesh)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)、聚醚醚酮(PEEK)和高分子复合材料中的一种或多种。

17.如权利要求14所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述刷子单元具有基板及至少一种刷布。

18.如权利要求17所述的化学气相沉积装置，其特征在于，刷布的材质是尼龙(nylon)、高铬调制不锈钢(SST)、铜及其合金(copper&alloy)、炭纤维(carbon fiber)、碳纳米管(carbon nanotubes)、炭纤维网(carbon mesh)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)、聚醚醚酮(PEEK)和高分子复合材料中的一种或多种。

19.如权利要求15所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述刷毛具有相同长度。

20.如权利要求15所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述刷毛具有不同长度。