[发明专利]一种盲埋孔电镀铜填孔方法无效
| 申请号： | 201210458136.8 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102912395A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 徐军磊 | 申请（专利权）人： | 苏州正信电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/00 | 分类号： | C25D7/00;C25D3/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215144 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 盲埋孔电 镀铜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种盲埋孔电镀铜填孔方法，包括酸洗、水洗、微蚀、水洗、预浸、水洗、电镀铜填孔、水洗一系列步骤，通过药水抑制调节电镀过程中高低电流区的金属沉积速度，实现对盲埋孔的填充效果。
2.根据权利要求1所述的一种盲埋孔电镀铜填孔方法以，其特征在于：所述酸洗溶液为浓度为8-12％的硫酸溶液。
3.根据权利要求1所述的一种盲埋孔电镀铜填孔方法以，其特征在于：所述微蚀溶液为2-4％的硫酸溶液与2-4％双氧水混合溶液。
4.根据权利要求1所述的一种盲埋孔电镀铜填孔方法以，其特征在于：所述预浸溶液为1-3％的硫酸溶液与10-20％的预浸剂混合溶液。
5.根据权利要求1所述的一种盲埋孔电镀铜填孔方法以，其特征在于：所述电镀液为200-220g/L的硫酸铜溶液、80-120g/L的硫酸溶液、60-90ppm的氯离子、4-5ml/L的光亮剂、8-12ml/L的润湿剂及10-20ml/L的整平剂组成的溶合溶液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州正信电子科技有限公司，未经苏州正信电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210458136.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：淡水生成装置和淡水生成方法
- 下一篇：一种具有保湿抗皱作用的化妆品组合物
