[发明专利]钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜、制备方法及其应用无效
| 申请号： | 201210458771.6 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103805195A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;王平;陈吉星;黄辉 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
| 主分类号： | C09K11/80 | 分类号： | C09K11/80;H01L33/50;H01L33/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掺杂 稀土 镓酸盐 发光 薄膜 制备 方法 及其 应用 | ||
1.一种钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜，其特征在于，其化学式为MeGaO3：xSm3+，其中，0.01≤x≤0.05，MeGaO3是基质，钐元素是激活元素，Me为Y、La、Gd或Lu。
2.根据权利要求1所述的钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜，其特征在于，所述钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜的厚度为50nm～300nm。
3.一种钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
根据MeGaO3：xSm3+各元素的化学计量比将Me2O3，Ga2O3和Sm2O3粉体，经过混合后，在900℃～1300℃下烧结得到靶材，其中，Me2O3为氧化钇、氧化镧、氧化钆或氧化镥；
将衬底装入脉冲激光沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为1.0×10-3Pa～1.0×10-5Pa；
调节基靶间距为45mm～95mm，衬底的温度为250℃～750℃，工作气体的流量为10sccm～40sccm，工作压强为0.5Pa～5Pa，脉冲激光能量为80W～300W，进行脉冲激光沉积得到化学式为MeGaO3：xSm3+的钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜，其中，0.01≤x≤0.05，MeGaO3是基质，钐元素是激活元素，Me为Y、La、Gd或Lu。
4.根据权利要求3所述的钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述基靶间距为60mm，衬底的温度为500℃，工作气体的流量为20sccm，工作压强为3Pa，脉冲激光能量为150W。
5.根据权利要求3所述的钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜的厚度为50nm～300nm。
6.一种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、阳极层、发光层以及阴极层，其特征在于，所述发光层的材料为钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜，该钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜的化学式为MeGaO3：xSm3+，其中，0.01≤x≤0.05，MeGaO3是基质，钐元素是激活元素，Me为Y、La、Gd或Lu。
7.根据权利要求6所述的薄膜电致发光器件，其特征在于，所述发光层的厚度为50nm～300nm。
8.一种薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供具有阳极的衬底；
在所述阳极上形成发光层，所述发光层的薄膜为钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜，该钐掺杂稀土镓酸盐发光薄膜的化学式为MeGaO3：xSm3+，其中，0.01≤x≤0.05，MeGaO3是基质，钐元素是激活元素，Me为Y、La、Gd或Lu；
在所述发光层上形成阴极。
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