[发明专利]清洗制造有机EL器件的气相沉积掩模的方法及清洗液无效
申请号: | 201210459063.4 | 申请日: | 2012-11-14 |
公开(公告)号: | CN103157619A | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 李殷相;金佑逸;金炳默;洪宪杓 | 申请(专利权)人: | 东友FINE-CHEM股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12;C11D7/60;C11D7/50 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 徐川;张颖玲 |
地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洗 制造 有机 el 器件 沉积 方法 | ||
相关申请的交叉引用
本申请要求在2011年12月15日和2011年12月16日递交的韩国专利申请号10-2011-0135850和10-2011-0136361的优先权,其通过引入而整体并入本文。
技术领域
本发明示例性的实施方式涉及清洗方法,且更具体地说,涉及用于去除在制造有机EL器件的气相沉积过程中附着在掩模的有机EL材料,以及涉及用于有机EL掩模的清洗液组合物。
背景技术
作为显示器件的平面显示器备受关注,包括液晶显示器件和具有有机电致发光(EL)器件的显示器件。液晶显示器件具有较低的能耗,但是需要外部光单元(背光单元)来得到明亮的图像,然而具有有机EL器件的显示器件与液晶显示器件不用,其并不需要背光单元,这是因为有机EL器件是自发光,所以可降低能耗。此外,具有有机EL器件的显示器件具有高亮度和宽视角的特点。根据有机材料的类型,有机EL器件可分为低分子型有机EL器件和高分子型有机EL器件。通过不同的方法可生产这些有机EL器件。就低分子型有机EL器件来说,通过气相沉积过程形成薄膜,而对于高分子型有机EL器件,在溶液中溶解后通过旋涂方法或喷墨方法形成薄膜。
就低分子型有机EL器件来说,例如利用掩模通过真空气相沉积依次在玻璃基板上形成正极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层以及负极而形成层状结构。
利用放置在基板附近的掩模通过真空气相沉积形成正极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层以及负极。然而,由于用于微细图案尤其是RGB层的气相沉积掩模需要高度精确,故其难以制造且非常昂贵。此外,当掩模在形成低分子型有机EL器件的有机层图案的过程中用于多次气相沉积时,有机材料沉积且附着在掩模上,使得高精确的掩模图案不能转移至基板。因此,为了实现高度精确的掩模图案,一个多次使用的昂贵掩模将会作为废物处理,这就增加了生产成本且难以大规模生产。在有机EL领域,目前并未尝试通过重复利用掩模来节约成本。
试图解决该问题,韩国专利公开10-2005-0054452公开了一种用于清洗掩模的溶液和方法,其中该掩模在真空气相沉积中用于生产低分子型有机EL器件。然而,问题在于,在去除有机EL材料随后的漂洗过程是复杂的且需要额外的漂洗液。此外,韩国专利公开10-2004-0072279公开了一种用于清洗有机EL(electroluminescence)掩模的装置,但问题在于,用于蒸发和液化溶剂的装置非常复杂且清洗过程耗时。另外,韩国专利公开10-2007-0065646公开了包括极性质子溶剂异丙醇的清洗液的用途,然而问题在于,清洗液溶解沉积材料的能力不足,不能达到完全清洗。
专利文件1:KR10-2005-0054452A
专利文件2:KR10-2004-0072279A
专利文件3:KR10-2007-0065646A
发明内容
因此,本发明是针对现有技术中存在的问题而完成。
本发明的实施方式提供了一种用于清洗有机EL掩模的方法,其具有优良的溶解有机EL材料的性能且能够简化被简化的漂洗过程,以使得掩模干燥过程容易且简单。
本发明的另一实施方式提供了一种清洗液以及利用该清洗液清洗掩模的方法,该清洗液具有优良的能力来溶解沉积材料,具有优良的干燥性能且不需要除去离子水外的单独的漂洗液。
根据本发明的实施方式,用于清洗有机EL掩模的方法包括如下步骤:(A)在洁净的腔室内提供四氢呋喃(THF)溶液;(B)将有机EL掩模浸泡在THF溶液中;(C)超声清洗浸泡在THF溶液中的有机EL掩模;以及(D)用去离子水漂洗清洗后的有机EL掩模。
根据本发明的另一实施方式,用于有机EL掩模的清洗液包括四氢呋喃和异丙醇。
如上所述,用于清洗有机EL掩模的创造性方法具有溶解有机EL材料的优良性能,且能够简化漂洗过程,使得掩板的干燥过程容易且简单。此外,根据本发明的清洗液具有优良的溶解沉积材料的性能且包括沸点低于水的溶剂。因此,清洗液具有优良的干燥性能且不需要除去离子水外的单独的漂洗液。
附图说明
图1为示出了根据本发明的一实施方式用于清洗有机EL掩模的方法的流程图。
具体实施方式
以下,将详细描述根据本发明的用于清洗有机EL掩模的方法。
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