[发明专利]金属有机化学气相沉积系统及其传输承载腔与传输方法

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉积系统，包括：反应腔、传输承载腔，所述反应腔顶部具有喷淋组件，所述反应腔底部具有与所述喷淋组件相对设置的基座，所述传输承载腔内设置有机械手，其特征在于，所述传输承载腔内还设置有部件承载单元，所述部件承载单元至少能够承载两片板部件，所述板部件可被所述机械手在所述传输承载腔与所述反应腔之间传输。

2.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述基座至少可承载两片所述板部件。

3.如权利要求2所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述板部件至少可承载两片基片，所述基片包括待处理基片、处理基片或处理完毕的基片中的一种或多种。

4.如权利要求3所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述部件承载单元包括部件承载部和用于驱动所述部件承载部升降运动的升降驱动部。

5.如权利要求4所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述升降驱动部具有位置感测单元，当所述机械手伸入到所述部件承载部内，所述位置感测单元能向所述升降驱动部发送升降驱动信号，以升降所述承载部，使得所述机械手在不碰撞所述部件承载部的情形下传输所述板部件到所述反应腔内。

6.如权利要求4所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述部件承载部包括部件承载板与温度控制单元，所述部件承载板用以承载所述板部件或基片。

7.如权利要求6所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述温度控制单元包括水冷单元，所述水冷单元具有设置在所述部件承载板内的水流通道。

8.如权利要求6所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述温度控制单元有包括气冷单元，所述气冷单元具有设置在所述部件承载板内的气流通道。

9.如权利要求6所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述温度控制单元为冷却板，所述冷却板设置在所述部件承载板的上方。

10.如权利要求6所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述温度控制单元为冷却管，所述冷却管设置在所述部件承载板的四周。

11.如权利要求7至10中任一项所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述部件承载板的数量为至少两个，且所述部件承载板沿竖直方向上间隔层叠设置。

12.如权利要求11所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述传输承载腔包括第一区与第二区，所述第一区设置有可以伸缩运动的所述机械手，所述第二区设置有所述部件承载单元，所述第一区的体积小于所述第二区的体积。

13.如权利要求12所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述机械手具有承载子部，所述部件承载板具有承载子部收容腔，用以当所述机械手伸入到所述部件承载部内时收容所述基片承载子部，使得在所述机械手的运动与所述部件承载部的运动配合过程中，所述机械手不会碰撞所述部件承载板。

14.如权利要求13所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述基座具有加热单元，所述加热单元用于将基座加热到最高1500摄氏度。

15.如权利要求14所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述基座具有旋转驱动控制单元与旋转驱动单元，所述旋转控制单元可以控制所述基座的旋转角度，以便于所述机械手能够在较短的运动路程下在所述传输承载腔与所述反应腔之间传输所述板部件。

16.如权利要求15所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述传输承载腔具有排气装置与进气装置。

17.如权利要求16所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，还包括基座顶升装置，所述顶升装置用于控制所述板部件在所述反应腔内的升降。

18.如权利要求17所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述顶升装置包括顶针与升降控制装置，所述顶针可被所述升降控制装置升起至一传输位置用以承接所述板部件，并被所述升降控制装置降低到一处理位置，以使得所述顶针带到所述板部件下降到处理位置。

19.如权利要求18所述的金属有机化学气相沉积系统，其特征在于，所述板部件为扇形或圆形。