[发明专利]光学编码器用反射板及其制造方法、以及光学编码器有效
申请号: | 201210459169.4 | 申请日: | 2008-09-04 |
公开(公告)号: | CN102980602A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 大志田悟;加藤胜 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G01D5/347 | 分类号: | G01D5/347;C23C18/54;C25D11/02 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 贾成功 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 编码 器用 反射 及其 制造 方法 以及 编码器 | ||
1.一种光学式编码器用反射板,具备:
树脂基材;
反射区域,其形成在所述树脂的表面;以及
低反射区域,其具有形成在所述表面的多个孔。
2.如权利要求1所述的光学式编码器用反射板,其具备在该反射区域反射的光可透射过且覆盖该反射区域中的至少一部分的被覆膜。
3.如权利要求2所述的光学式编码器用反射板,其具备覆盖该被覆膜与该低反射区域的第2被覆膜。
4.如权利要求2所述的光学式编码器用反射板,其中,该低反射区域被染色。
5.如权利要求1-4的任一项所述的光学式编码器用反射板,其具备具有该反射区域与该低反射区域的绝对图案。
6.一种光学式编码器用反射板的制造方法,包含:
准备具有镜面状的反射面的基材;
在所述反射面形成透明光致抗蚀剂膜;
通过使所述透明光致抗蚀剂膜的一部分曝光及显影,使所述反射面的一部分露出;
在露出后的所述反射面的一部分,作为非反射区域形成含有无电镀覆膜或电解氧化膜的膜;
形成被覆所述透明光致抗蚀剂膜与所述膜的保护膜。
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