[发明专利]一种线宽量测装置有效
| 申请号： | 201210459757.8 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102914266A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 林勇佑 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 线宽量测 装置 | ||
1.一种线宽量测装置，用于撷取待测图案的影像，其特征在于，所述线宽量测装置至少包括：
第一背向光源和第二背向光源，所述第一背向光源和所述第二背向光源分别装设在待测图案底侧的下方，并投射背向照明在所述待测图案上；
取像装置，装设在待测图案顶侧的上方，用以撷取所述待测图案的影像。
2.如权利要求1所述的线宽量测装置，其特征在于，所述取像装置撷取所述待测图案底侧的影像。
3.如权利要求1或2所述的线宽量测装置，其特征在于，所述第一背向光源和所述第二背向光源分别投射的所述背向照明的入射方向互成一定的角度。
4.如权利要求3所述的线宽量测装置，其特征在于，所述待测图案底侧正投影的宽度大于所述待测图案顶侧正投影的宽度。
5.如权利要求4所述的线宽量测装置，其特征在于，所述待测图案的截面呈梯形。
6.如权利要求1所述的线宽量测装置，其特征在于，所述背向照明的入射方向垂直于所述待测图案的底侧。
7.如权利要求1所述的线宽量测装置，其特征在于，所述线宽量测装置还包括计算机，所述计算机连接所述取像装置，并接收由所述取像装置所撷取的影像。
8.如权利要求1所述的线宽量测装置，其特征在于:，所述第一背向光源是发光二极管组件、冷阴极灯或白炽灯。
9.如权利要求1所述的线宽量测装置，其特征在于，所述第二背向光源是发光二极管组件、冷阴极灯或白炽灯。
10.如权利要求1所述的线宽量测装置，其特征在于，所述待测图案是液晶玻璃的透明电极层或彩色滤光片的黑色矩阵层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210459757.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
