[发明专利]石英晶体微天平质量传感器

权利要求书

1.石英晶体微天平质量传感器，包括圆形石英晶片（1），所述圆形石英晶片（1）上下两面分别具有上金属电极（2）和下金属电极（3），经过圆形石英晶片（1）几何中心的法线与经过上金属电极（2）几何中心的法线和经过下金属电极（3）几何中心的法线三者保持重合；其特征在于，所述下金属电极（3）为一半径为m的圆电极；所述上金属电极2为一双环状电极，由一个内环状电极21和与内环状电极21同心的外环状电极22构成；所述内环状电极21的内半径为s、外半径为t，所述外环状电极22的内半径为n、外半径为m，且t<n。

2.根据权利要求1所述的石英晶体微天平质量传感器，其特征在于，所述上金属电极（2）和下金属电极（3）材料为金或铬+金，厚度为10^-7米。

3.根据权利要求1或2所述的石英晶体微天平质量传感器，其特征在于，所述内环状电极21的内半径s在0.5毫米到1.5毫米的范围内，外半径t在0.7毫米到2.1毫米的范围内；所述外环状电极22的内半径n在1.6毫米到3.2毫米的范围内，外半径m在2.5毫米到5.0毫米的范围内。

4.根据权利要求1、2或3所述的石英晶体微天平质量传感器，其特征在于，所述石英晶片（1）的直径在8.0mm到14.0mm的范围内。

5.根据权利要求1、2、3或4所述的石英晶体微天平质量传感器，其特征在于，所述石英晶片（1）为AT切石英晶片，其切角范围从35°1'到35°12'。

6.根据权利要求1、2、3或4所述的石英晶体微天平质量传感器，其特征在于，所述石英晶体微天平质量传感器的称频率为5MHz、10MHz或11MHz，工作泛音次数为基频、3次泛音或5次泛音。