[发明专利]一种化学液供给装置

权利要求书

1.一种化学液供给装置，其特征在于：包括供液桶（7）、补液桶（6）、电磁阀、药液阀、溢流阀（9）及液位传感器（8），其中供液桶（7）与补液桶（6）之间连通的管路上设有药液阀，所述药液阀通过电磁阀与压缩空气源相连；所述供液桶（7）及补液桶（6）分别连通一个供气源、并通过电磁阀控制供气，供液桶（7）与补液桶（6）内均安装有检测液位的液位传感器（8），供液桶（7）连通有控制向外排气的溢流阀（9）；所述供液桶（7）内的化学液向机台供液，补液桶（6）内的化学液对供液桶（7）进行补给。

2.按权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于：所述补液桶（6）连通有泄压的手动断通阀（5）。

3.按权利要求1或2所述的化学液供给装置，其特征在于：所述供液桶（7）及补液桶（6）内装有相同的化学液，初始状态的供液桶（7）及补液桶（6）内的化学液均为满桶。

4.按权利要求1或2所述的化学液供给装置，其特征在于：所述供液桶（7）及补液桶（6）内的液位传感器（8）均为上下两个，分别检测桶内化学液的高液位及低液位。

5.按权利要求1或2所述的化学液供给装置，其特征在于：与补液桶（6）连通的供气源所供给的气体压力大于与供液桶（7）连通的供气源所供给的气体压力。

6.按权利要求1或2所述的化学液供给装置，其特征在于：所述供液桶（7）的排气压力通过溢流阀（9）控制，该溢流阀（9）设定的压力大于与供液桶（7）连通的供气源所供给的气体压力，且小于与补液桶（6）连通的供气源所供给的气体压力。

7.按权利要求1或2所述的化学液供给装置，其特征在于：所述电磁阀为两位两通电磁阀，药液阀为两位两通药液阀（4）。