[发明专利]一种玻璃减薄刻蚀液补充液无效
| 申请号： | 201210461629.7 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102923963A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 黄源;徐雅玲;尹云舰;刘志彪;邢攸美 | 申请（专利权）人： | 杭州格林达化学有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 周烽 |
| 地址： | 311228 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 刻蚀 补充 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃减薄刻蚀液补充液，其特征在于，按重量百分比计，它包括20-55%的氢氟酸，0.01-30%的碱金属盐，0.001-0.1%脂肪醇聚氧乙烯醚表面活性剂，余下组分为水。
2.根据权利要求1所述玻璃减薄刻蚀液补充液，其特征在于，所述组合物中氢氟酸的重量百分比浓度优选为30-45%，碱金属盐的重量百分比浓度优选为0.2-1%。
3.根据权利要求1所述玻璃减薄刻蚀液补充液，其特征在于，所述组合物中的碱金属盐可为锂盐、钠盐或钾盐，以钠盐为首选。
4.根据权利要求1所述玻璃减薄刻蚀液补充液，其特征在于，所述组合物中的碱金属盐对应的酸根离子可为无机酸根离子如氟离子，氯离子，硝酸根离子，硫酸（氢）根离子，磷酸（氢）根离子或碳酸（氢）根离子等，首选为氟离子或氯离子。
5.根据权利要求1所述玻璃减薄刻蚀液补充液，其特征在于，所述组合物中的碱金属盐对应的酸根离子可为有机酸根离子如柠檬酸根离子，醋酸根离子，草酸根离子，磺酸根离子或或可为的含有脂肪酸根离子或是带前述提及的无机酸根离子的表面活性剂如烷基苯磺酸。
6.根据权利要求1所述玻璃减薄刻蚀液补充液，其特征在于，所述组合物中的碱金属盐可为一种或几种碱金属离子种类或酸根离子的碱金属盐的混合物。
7.根据权利要求1所述玻璃减薄刻蚀液补充液，其特征在于，可适用于槽式或淋洗式处理工艺。
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