[发明专利]一种生产多晶硅的还原炉

说明书

技术领域：

本发明涉及生产多晶硅的还原炉。

背景技术：

生产多晶硅是一个高耗能的行业，其中用于生产多晶硅的还原炉是耗能的关键环节。还原炉的能耗主要体现在炉内热量的损失。还原炉的炉壁一般为水夹套或油夹套结构，炉壁损失掉炉内很大一部分热量。在运行或停炉过程中，经常发生的硅棒倒棒会冲击炉体，缩短还原炉使用寿命。在生产中还会在炉体内壁产生无用的物质或污垢，需要经常清理，费时费力。清洗还原炉经常会用到一些化学液体，对炉体内壁有一定腐蚀作用，又降低了还原炉的使用寿命。

发明内容：

本发明的目的在于提供一种能耗低、使用寿命长，内壁清洁的生产多晶硅的还原炉。

本发明生产多晶硅的还原炉，炉体包括炉筒、底盘，底盘上具有电极，所述炉筒内壁上固定有阻辐射抗力冲击屏，所述的屏与炉筒内壁间具有间隙。

所述底盘上固定有阻辐射抗力冲击屏，所述的屏与所述底盘间具有间隙。

所述的屏分块固定在炉筒内壁或底盘上。

所述的炉筒设有氢气注入孔。

所述的氢气注入孔设在炉筒的下部。

所述的屏材质为氮化硅或碳化硅。

所述的屏通过螺栓固定在炉筒内壁或底盘上。

所述螺栓材质为钼。

螺栓外端面相对于阻辐射抗力冲击屏的表面呈嵌入式。

本发明在炉筒和底盘上设了阻辐射抗力冲击屏，所述的屏为分块布置，屏与炉筒内壁间具有间隙，屏的材质选用了耐高温、耐腐蚀、抗强力冲击的材料氮化硅或碳化硅，阻辐射抗力冲击屏阻止了热量向炉筒壁的辐射，避免了通过水夹套或油夹套炉筒散失的大量热量，达到了节能降耗的目的。硅棒倒棒时阻辐射抗力冲击屏承接了硅棒的冲击，避免了对炉筒的损坏，延长了还原炉使用寿命。阻辐射抗力冲击屏分块安装，可以随时更换损坏的屏，节约了成本，经济方便。运行中阻辐射抗力冲击屏处于相对高温状态，不会在屏的表面产生污垢和废物，而会形成一层多晶硅膜，大大降低了还原炉的清洁次数，减轻劳动强度，提高生产效率。炉筒设有氢气注入孔，由此持续注入高纯度氢气，氢气在炉筒内壁与阻辐射抗力冲击屏之间缓慢流动，阻止炉内反应气体接触炉筒内壁与阻辐射抗力冲击屏的背侧，更好地避免了产生污垢与废物，进一步保证了还原炉的清洁。钼螺栓抗高温、抗腐蚀，在炉内环境中起到很好的连接固定作用。螺栓外端面相对于屏的表面呈嵌入式，使得螺栓端面相对于屏表面呈现为一个凹坑，降低了螺栓端面产生多晶硅膜的机率，使得拆取螺栓比较方便。本发明结构简单，大大降低生产多晶硅的能耗，炉体使用寿命长，不需要经常清洗炉壁，工作效率高，运行成本低。

附图说明：

图1为本发明结构示意图。

图2为阻辐射抗力冲击屏与炉筒通过螺栓固定的结构示意图。

图3为本发明炉顶结构示意图。

图4为本发明底盘结构示意图。

具体实施方式：

下面结合附图对本发明作进一步说明。

图中：1-炉筒，2-底盘，3-阻辐射抗力冲击屏，4-螺栓，5-氢气注入孔。

如图1、图3、图4所示，阻辐射抗力冲击屏3通过螺栓4固定在包括炉顶的炉筒1及底盘2上，阻辐射抗力冲击屏3与炉筒及底盘间具有一定的间隙，如图2所示。如图1所示，炉筒下部设有氢气注入孔5，注入的氢气在阻辐射抗力冲击屏3与炉筒或底盘的间隙中缓慢流动。阻辐射抗力冲击屏3为分块结构便于更换损坏的屏。阻辐射抗力冲击屏3材质选用抗高温、抗腐蚀、抗强力冲击的材料，如采用氮化硅或碳化硅等。螺栓采用钼质螺栓是优选方案。

如图2所示，钼螺栓把阻辐射抗力冲击屏3与炉筒或底盘固定好后，钼螺栓的外端面较阻辐射抗力冲击屏3的表面呈嵌入式。