[发明专利]探针针压校正方法及其校正设备

权利要求书

1.一种探针针压校正方法，其特征在于包含有下列步骤：

a)使一第一探针与一第二探针电性接触一待测物，其中所述第一探针与所述第二探针分别电性耦接至一针压检测电路的一第一接点与一第二接点，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有所述第一接点与所述第二接点；

b)使所述第一探针离开所述待测物而与所述待测物电性绝缘；

c)撷取所述针压检测单元的跨电压，同时使所述第一探针朝向所述待测物近接位移而再次与所述待测物电性接触，并在侦测到所述针压检测单元的跨电压自一恒定值下降之后，停止所述第一探针的动作；

d)使所述第二探针离开所述待测物而与所述待测物电性绝缘；

e)撷取所述针压检测单元的跨电压，同时使所述第二探针朝向所述待测物接近位移而再次与所述待测物电性接触，并在侦测到所述针压检测单元的跨电压自一恒定值下降之后，停止所述第二探针的动作。

2.一种探针针压校正方法，其特征在于包含有下列步骤：

a)使一第一探针与一第二探针电性接触一待测物，其中所述第一探针与所述第二探针分别电性耦接至一针压检测电路的一第一接点与一第二接点，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有所述第一接点与所述第二接点；

b)使所述第一探针上升离开所述待测物而与所述待测物电性绝缘，并通过撷取所述针压检测单元的跨电压，来判断所述第一探针从与所述待测物电性导通转变成电性绝缘的时间点时，所述第一探针的临界位置；

c)使所述第一探针下降朝向所述待测物近接位移，并停止于所述临界位置下方一预定距离的一第一接触位置，使所述第一探针再次与所述待测物电性接触；

d)使所述第二探针上升离开所述待测物而与所述待测物电性绝缘，并通过撷取所述针压检测单元的跨电压，来判断所述第二探针从与所述待测物电性导通转变成电性绝缘的时间点时，所述第二探针的临界位置；

e)使所述第二探针下降朝向所述待测物近接位移，并停止于所述第二探针的临界位置下方实质上与步骤c)所述的预定距离相同距离的一第二接触位置，使所述第二探针再次与所述待测物电性接触。

3.如权利要求1或2所述的探针针压校正方法，其特征在于：所述针压检测电路还包含有一与所述电源电连接且与所述针压检测单元串联的分压元件。

4.如权利要求3所述的探针针压校正方法，其特征在于：所述分压元件的电阻值，小于所述针压检测单元的升压元件的电阻值。

5.如权利要求1或2所述的探针针压校正方法，其特征在于：步骤a)还包含有下列步骤：

a1)使所述第一探针与所述第二探针间隔对应于所述待测物的上方；

a2)撷取所述针压检测单元的跨电压；

a3)使所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移，使所述待测物能与所述第一及第二探针能从彼此间隔对应而变成彼此接触而电连接；

a4)当侦测到所述针压检测单元的跨电压自一恒定值下降之后，停止所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移。

6.如权利要求5所述的探针针压校正方法，其特征在于：在步骤a1)中，所述待测物承置于一升降载台；在步骤a3)中，通过所述升降载台的上升使所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移；而在步骤a4)中，通过停止所述升降载台上升来达到停止所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移。

7.如权利要求6所述的探针针压校正方法，其特征在于：在步骤a4)中，在判断所述针压检测单元的跨电压自所述恒定值下降至一阈值之后，停止所述升降载台上升。

8.如权利要求5所述的探针针压校正方法，其特征在于：在步骤a1)中，所述第一探针与所述第二探针分别固定于一第一升降轴与一第二升降轴而对应于所述待测物的上方；在步骤a3)中，通过所述第一升降轴与所述第二升降轴下降达到使所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移；而在步骤a4)中，是通过停止所述第一与所述第二升降轴下降来达到停止所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移。