[发明专利]DBC基板翘曲激光测量装置

权利要求书

1.DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，包括：

下底板；

测量平台，所述测量平台设置在所述下底板上；

上底板，所述上底板设置在所述下底板上，所述上底板通过所述上底板两侧的支撑杆设置在所述下底板上；

滑动机构，所述滑动机构设置在所述上底板上；

测量机构，所述测量机构通过支架与所述滑动机构连接，所述测量机构设置在所述测量平台的上方；以及

散热片，所述散热片设置在所述支架上，所述散热片设置在所述测量机构与待测样品之间。

2.根据权利要求1所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，所述滑动机构包括：

导轨，所述导轨设置在所述上底板上，在所述导轨上还设有齿条；

滑块，所述滑块设置在所述导轨上，在所述滑块内还设有齿轮，所述齿轮与所述齿条相匹配；以及

调节螺栓，所述调节螺栓一端与所述齿轮连接，另外一端设置在所述滑块外。

3.根据权利要求2所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，所述支架包括：

横支架，所述横支架的一端与所述滑动块连接；以及

竖支架，所述竖支架的一端与所述横支架的另外一端连接。

4.根据权利要求3所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，所述测量机构包括：

保护盒，所述保护盒设置在所述竖支架上，在所述保护盒的一侧设有探测孔，所述探测孔面向所述测量平台；以及

激光发射接收器，所述激光发射接收器设置在所述保护盒内，所述激光发射接收器与数据控制处理装置电连接。

5.根据权利要求4所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，在所述散热片上分别设有测量孔及散热孔，所述测量孔与所述探测孔的位置相对应。

6.根据权利要求5所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，所述散热片的数量至少为一个，多个所述散热片相互间隔设置，其中上、下所述散热孔的位置不对应，形成错位设置。

7.根据权利要求3所述的DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，在所述竖支架与所述横支架之间还进一步设有加强筋，所述加强筋分别与所述竖支架及所述横支架连接。