[发明专利]一种EB炉利用真空系统提纯抽真空油方法

说明书

技术领域

本发明属EB炉（电子束熔炼炉）真空污染油提纯方法技术领域。

技术背景

EB炉（电子束熔炼炉）系统产生许多飞溅物;分布许多冷却设备,由于各种原因产生泄漏,主真空系统机械泵,罗茨泵,油增压泵,扩散泵,扩散泵的维持泵,旋叶泵;EB枪真空系统的扩散泵旋叶泵(用于粗抽真空和维持泵);所以真空系统中的这些设备流体润滑里面就有杂质和水分子, 使真空油油质变差从而影响EB炉抽真空的效果,由于真空油价格昂贵,用量大,对生产成本影响较大, 高成本会使产品市场竞争能力差,所以对真空油油质就需要进行提纯处理。 目前尚未有对真空油油质进行提纯处理的方法。

发明内容

为了克服现有EB炉系统真空油存在杂质和水分子的情况,使其能够被循环应用，降低生产成本，提高产品市场竞争能力，本发明提供一种EB炉利用真空系统提纯真空油的方法。

本发明的目的是通过如下技术方案来实现的。

一种EB炉利用真空系统提纯抽真空油方法，本发明步骤如下：

1）除水:

（1）将真空泵启动并对熔炼室抽真空；

（2）在启动抽真空10分钟后，打开所有机械泵的气镇阀；

（3）在气镇阀打开的情况下，对熔炼室抽真空，可以有效地使从熔炼室内抽出的水分子冷凝，并沉降到机械泵底部；

（4）这些水分子会将机械泵里不溶于真空油的气体杂质吸附；

（5）每隔15-20分钟，打开机械泵放油口，使沉降到底部的水分子从放油口排出；起到提纯净化真空油的效果；

（6）反复此步骤，直到真空达到高真空（<9.0E10^-3Hpa）即可；

2）除杂质：

（1）将真空泵启动并对熔炼室抽真空；

（2）在达到罗茨泵启动条件时（<1.0E10¹Hpa），将在线滤油器连接至机械泵放油口和滤油口，启动在线滤油器；

（3）在此真空条件下，真空泵会将大量漂浮在熔炼室空间的金属杂质抽到机械泵腔体内，由于杂质体积小、质量轻，故可以沉降到真空油内，随真空油进行循环；

（4）在循环过程中，随内部碰撞、粘合，杂质会与真空油内不溶物形成较大的凝块，经在线滤油器（5）过滤可以将绝大部分的杂质清除干净，起到净化提纯真空油的效果；

（3）每隔30-60分钟对机械泵进行一次过滤，每次过滤时间不少于15分钟即可。

本发明的有益效果为，可循环应用，降低了生产成本，提高了产品市场竞争能力。

下面就具体附图和具体实施方式对本发明作进一步解释。

附图说明

图1为本发明方法除水时的结构示意图；

图2为本发明方法除杂质的结构示意图。

具体实施方式

见图1，图2所示，一种EB炉利用真空系统提纯抽真空油方法，本发明步骤如下：

1）         除水:

将真空泵启动并对熔炼室抽真空；

在启动抽真空10分钟后，打开所有机械泵的气镇阀；

在气镇阀打开的情况下，对熔炼室抽真空，可以有效地使从熔炼室内抽出的水分子冷凝，并沉降到机械泵底部；

这些水分子会将机械泵里不溶于真空油的气体杂质吸附；

每隔15-20分钟，打开机械泵放油口，使沉降到底部的水分子从放油口排出；起到提纯净化真空油的效果；

反复此步骤，直到真空达到高真空（<9.0E10^-3Hpa）即可；

2）         除杂质：

将真空泵启动并对熔炼室抽真空；

在达到罗茨泵启动条件时（<1.0E10¹Hpa），将在线滤油器连接至机械泵放油口和滤油口，启动在线滤油器；

在此真空条件下，真空泵会将大量漂浮在熔炼室空间的金属杂质抽到机械泵腔体内，由于杂质体积小、质量轻，故可以沉降到真空油内，随真空油进行循环；

在循环过程中，随内部碰撞、粘合，杂质会与真空油内不溶物形成较大的凝块，经在线滤油器过滤可以将绝大部分的杂质清除干净，起到净化提纯真空油的效果；

每隔30-60分钟对机械泵进行一次过滤，每次过滤时间不少于15分钟即可。