[发明专利]一种EB炉熔炼室抽真空的方法

权利要求书

1.一种EB炉熔炼室抽真空的方法，其特征在于，

（1）、确保所有炉室关闭并做好抽空准备；

（2）、打开旋转加料器柱塞阀、块料加料器隔离阀和熔炼室隔离阀；

（3）、启动维持泵P-GP4-01 和P-GP7-01；这些维持泵供熔炼室扩散泵使用；

（4）、打开维持泵和熔炼室扩散泵之间的真空阀；

（5）、打开熔炼室扩散泵；维持泵需要在真空阀打开的情况下运行5～8分钟后才能启动扩散泵；扩散泵将需要加热50～65分钟，以将其油加热至工作温度；

（6）、启动主要真空泵组GP1、GP2 和GP3；

（7）、打开真空泵组前方第一个真空阀；

（8）、打开真空阀SVO-GVH-01 和SVO-GVH-02；

（9）、打开熔炼室真空阀SVO-GMC-01，开始粗抽真空所有炉室；粗抽真空为50～65分钟，以达到可让扩散泵提升阀打开的真空度；

（10）、当熔炼室提升阀的许可指示器显示绿色时，关闭熔炼室真空阀，并打开熔炼室提升阀；此时扩散泵正将炉室抽真空至高真空度；本EB 系统允许抽吸至少8小时，以抽除炉室内的水分和氧气；抽气时间可更长或更短，由抽气前熔炼炉条件决定；

（11）、当达到适当的极限真空度时，可关闭提升阀，并可进行泄漏测试；

（12）、一旦达到合格高真空状态后，在开始熔炼之前，将水系统从温水切换为工厂水。