[发明专利]转塔式测试分选机

说明书

技术领域

本发明涉及半导体器件的测试分选装置，尤其是指一种具有旋转台的半导体器件的测试分选机。

背景技术

微电子行业大量使用的半导体器件制造完成后，需要对其进行检测、分选、或还有在其上下表面打标（标记、商标或称Mark）、包装（如编带）等处理工序。现有工业应用中，上述各工作过程是独立进行的，其检测分选速度慢，设备种类多而繁杂，劳动量大，生产效率低下。

申请号为200810019777.7的专利申请文件公开了一种“新型QFN集成电路测试分选机测试单元装置”，包括推送气缸组件、测试主座组件、测试吸嘴座组件、金手指固定座、挡料组件、测试流道组件、滑轨组件、旋转块组件、光电开关组件和定位气缸组件，推送气缸组件)包括推送气缸、推送气缸固定座、浮动接头、连动杆和支撑杆，测试吸嘴座组件包括测试吸嘴座和定位夹爪，挡料组件包括挡料气缸、挡料块和挡料盖板，测试流道组件)包括测试流道和测试旋转块，滑轨组件包括滑轨支撑座、滑轨块固定座)、滑轨块和滑轨。其局部虽有旋转块组件，但是其主要移动部位是滑轨，每个测试分选周期只能进行单一的项目测试和分选，效率较低。

申请号为200420001551.1的专利申请文件公开了一种“ 元件测试分选机”，包括：振动入料组，具有可容纳待测试元件分片的料斗，并在该料斗一端延伸一导料管，该导料管末端形成定位架；转盘，其周围环设有数个沟槽洞，以依序接收及输送上述定位架的每一待测试元件；测试系统机构，依行进程序逐一探测每一沟槽洞的待测试元件，并执行既定的射频测试校验项目及存储校验修正值的对比分析后，再根据测试项目与测试值的预设属性进行分类；及收料管架，具有多组收纳区，以分别收纳经由分类后的已测试元件。该设备随和测试多个项目，但是原件进出沟槽洞消耗了过多时间，测试分选周期较长，速度不能适应大规模的生产要求。

申请号为200910025718.5的专利申请文件公开了一种“ 一种半导体器件测试分选机”中，公开了含旋转工作台测试分选机的一些技术特征，包括安装在立轴上端的旋转工作台，旋转工作台外圆周上均布有若干可升降的吸嘴，旋转工作台周围沿顺时针或逆时针方向依次布置有与吸嘴位置相对应的分离台、第一旋转定位装置、检测头、图像摄像头、副转盘、第二旋转定位装置、下料机构和编带机构，分离台与上料机构连接，第一旋转定位装置、第二旋转定位装置各包括一个与被检测器件相适配的模腔，模腔位于相应工位的吸嘴下方；副转盘周边均布有若干可容纳被检测器件的凹腔，副转盘侧面设有与凹腔对应的打标激光头。该装置虽然由计算机控制多个检测装置协同工作，可实现检测、打标、分选、编带等功能。但是由于，主电机的转轴朝上，必须有旋转工作台和副转盘的设置，运转部件较多，体积较大，相互干扰较多；而且，各个工位的结构特征和工位之间的相互关系特征，电机的技术特征均未有公开，难以实施。

申请号为200910025717.0的专利申请文件公开了一种“ 半导体器件测试分选机的旋转工作台，包括水平设置的转台，转台下侧中心设有转轴，转轴与一电机的轴端传动连接，转轴上套装有弹性抵触在转台下端面上的进气座，进气座侧面设有至少一个吸嘴，转台四周分布有若干可容纳半导体器件的大孔，大孔下侧设有上下贯穿转台的小孔，进气座上设有若干接通吸嘴并与小孔一一对应的气道；转台上侧周向呈上小下大的锥面，大孔轴线穿过所述锥面的轴线并垂直于锥面的母线设置。使用时，将激光头和图像摄像头设置在大孔的轴线方向上，激光头和图像摄像头不会相互干涉，转台和电机的尺寸小，可节约成本。该装置对旋转工作台和吸嘴的技术内容有所交代，可资借鉴。

深圳市远望工业自动化设备有限公司的“测试分选打标编带一体机”，江都市东元机电设备有限公司“SH-16转塔式分选机”，虽提及转塔式分选机，还处于研制中，技术尚未成熟定型，而且其组成部件的技术内容基本也未有充分的公开介绍。

发明内容

发明目的：提供一种适合极小型半导体器件使用的转塔式测试分选机，使得检测、打标、分选、编带可在一台结构紧凑，检测效率高的机器上实现。

技术方案：本发明的转塔式测试分选机，用于半导体器件的测试、打标、分选和编带。含有机架、主电机、转轴、旋转台、多个工作位、喂料机构、下料编带机构、控制其它各个部件动作的计算机等部件。旋转台的圆周上均布有多个可升降的柔性机械手，柔性机械手的下部是吸嘴，旋转台下面、机架上安装有分别对应于各个吸嘴的多个工作位，每个工作位上部均具有凹腔，便于吸嘴取放被检测半导体器件。