[发明专利]包括带有三个接触部的霍尔效应区的电子器件

说明书

技术领域

本发明的实施例涉及一种电子器件和一种感测（sensing）方法。特别地，该电子器件可以是用于感测诸如磁场或对象内的机械应力之类的物理量的感测器件。

背景技术

电子器件可以被用来感测或测量物理量。为了感测或测量平行于例如半导体管芯的表面的磁场的强度和方向，可以使用垂直霍尔器件。大多数垂直霍尔器件因如下事实而受到损害：用来消除霍尔器件的零点误差的旋转电流法（spinning current method）并没有非常好地工作。利用旋转电流方案的公知方法，可能获得为大约1mT的残余零点误差。这个相当差的偏移特性的原因可以在垂直霍尔器件的不对称性中找到。尽管知道如何连接四个垂直霍尔器件以便改进对称性，但是接触电阻仍旧引起残余的非对称性。

可以被感测或被测量的另外的物理量是对象内的机械应力，所述对象诸如是衬底、特别是半导体衬底。为此，具有与霍尔器件类似结构的电子器件可以被使用。实际上，略微修改合适的霍尔效应器件的一些内部连接可能就足以获得机械应力传感器。

发明内容

本发明的实施例提供了一种电子器件，所述电子器件包括霍尔效应区、布置在霍尔效应区的表面中或在霍尔效应区的表面上的第一接触部（contact）、布置在霍尔效应区的表面中或在霍尔效应区的表面上的第二接触部和布置在霍尔效应区的表面中或在霍尔效应区的表面上的第三接触部。第一接触部被配置来至少暂时地起霍尔效应区的第一供给接触部的作用。第二接触部是霍尔效应区的第二供给接触部。第三接触部被配置来至少暂时地起感测接触部的作用。第一接触部和第三接触部相对于第二接触部彼此以基本上对称的方式被布置，并且其中在霍尔效应区内的电流分布受要被测量的物理量影响，而且其中在第三接触部处被分接的感测信号是电流分布的函数，其中感测信号因此表示物理量。

本发明的另外的实施例提供了一种电子器件，所述电子器件包括霍尔效应区、第一接触部、第二接触部和第三接触部。第一接触部、第二接触部和第三接触部被布置在霍尔效应区的表面中或在霍尔效应区的表面上。第一接触部被配置来至少暂时地起供给接触部的作用。第二接触部被配置来起另外的供给接触部的作用。第三接触部被配置来至少暂时地起感测接触部的作用，其中第三接触部在距第一接触部的第一距离处并且在距第二接触部的第二距离处。在第一接触部与第二接触部之间的距离小于第一距离和第二距离中的最大值。霍尔效应区内的电流分布受要被测量的物理量影响，并且其中在第三接触部处被分接的感测信号是电流分布的函数，其中感测信号因此表示物理量。

本发明的另外的实施例提供了一种感测方法，根据该感测方法，电流经由被布置在霍尔效应区的表面中或在霍尔效应区的表面上的第一接触部而被馈送到霍尔效应区，并且经由被布置在霍尔效应区的表面中或在霍尔效应区的表面上的第二接触部而从霍尔效应区被抽取。该方法也包括：在形成在霍尔效应区的表面中或在霍尔效应区的表面上的第三接触部处对感测信号进行感测，其中第一接触部和第三接触部相对于第二接触部彼此以基本上对称的方式被布置。霍尔效应区内的电流分布受要被测量的物理量影响。在第三接触部处被分接的感测信号是电流分布的函数，其中感测信号因此表示该物理量。该方法还包括：将电流或另外的电流经由第三接触部馈送到霍尔效应区，并且经由第二接触部抽取该电流或另外的电流，或反之亦然（也就是，经由第二接触部馈送电流并且经由第三接触部抽取）。该方法进一步包括：在第一接触部处对另外的感测信号进行感测，并且基于感测信号和另外的感测信号确定输出信号。

本发明的另外的实施例提供了一种感测方法，所述感测方法包括：将电流经由被布置在霍尔效应区的表面中或在霍尔效应区的表面上的第一接触部馈送给霍尔效应区，并且经由被布置在霍尔效应区的表面中或在霍尔效应区的表面上的第二接触部从霍尔效应区抽取电流。该感测方法也包括：在形成在霍尔效应区的表面中或在霍尔效应区的表面上的第三接触部处对感测信号进行感测，其中第三接触部在距第一接触部的第一距离处，并且在距第二接触部的第二距离处。在第一接触部与第二接触部之间的距离小于第一距离和第二距离中的最大值。霍尔效应区内的电流分布受要被测量的物理量影响，并且在第三接触部处被分接的感测信号是电流分布的函数，其中感测信号因此表示物理量。该感测方法进一步包括：将电流或另外的电流经由第三接触部馈送到霍尔效应区，并且经由第二接触部抽取该电流或另外的电流，或反之亦然。该感测方法进一步包括：在第一接触部处对另外的感测信号进行感测，并且基于该感测信号和该另外的感测信号确定输出信号。

附图说明