[发明专利]一种热机轨道透明式盖板

说明书

技术领域

一种热机轨道透明式盖板，属于集成电路设计领域，特别是涉及粘晶工序中轨道密封盖板的结构。 

技术背景

在半导体封装工业粘晶工序中，热机设备轨道部需要完成针对引线的加热、点锡、粘晶、降温等相关工艺。轨道部由U形槽，轨道板，轨道盖板，加热结构，冷却结构及支撑端组成。 

粘晶区域的工作温度较高，一般在400℃左右。引线进入加热区域后，本身的温度逐渐上升，并保持在锡丝熔点温度形成恒温。粘晶工艺结束后，引线沿工作台轨道被搬移出加热区，并在冷却结构的作用下，温度逐渐降低至常温。为保证引线在加热过程中不被氧化，轨道部一般采用全封闭式结构。以往的轨道盖板结构，引线一旦进入工作台后，其运行过程将完全处于封闭结构内，无法瞬时观察其运行状态及变化。若出现引线堵塞、点锡或粘晶等工艺问题时，操作人员无法及时发现，从而造成原材料浪费及对设备的损坏。 

发明内容

为了解决上述技术背景中存在的问题，提供一种热机轨道透明式盖板，使轨道盖板上的一定区域可以观察到引线的实时运行状态。 

本发明采用的技术方案是：一种热机轨道透明式盖板, 包括带侧板的以轨道为底面的U型槽, 所述U型槽上设有出料盖板、冷却结构盖板、粘晶结构盖板和进料盖板，所述盖板上设有透明窗口，所述盖板一端卡在轨道一侧侧板的U型槽上，另一侧用螺丝固定在轨道另一侧的侧板上，盖板上设有透明窗口。 

所述盖板包括底座、耐热玻璃、密封罩和滑动片，在底座的凹槽中嵌入优质的耐热玻璃，用固定螺丝将依次叠加在一起的密封罩、耐热玻璃和底座密封固定在轨道的侧板上。 

所述密封罩上设有滑动片。滑动片为搬运位置密封挡片，功能与密封罩类似。 

本发明的有益效果是：这种热机轨道透明式盖板包括出料盖板、冷却结构盖板、粘晶结构盖板和进料盖板，盖板上设有透明窗口，并固定在轨道的侧板上。采用加置耐热性较好的透明玻璃后，轨道盖板上的一定区域可以观察到引线的实时运行状态，保证了结构的整体性和密封效果的同时，可以有效的避免出现引线堵塞、点锡或粘晶等工艺问题时，从而节省原材料，及时避免设备的损坏，提高设备的生产效率，并延长其使用寿命。 

附图说明

图1是轨道部整体结构示意图。 

图2是进料轨道盖板外部示意图。 

图3是进料轨道盖板装配示意图。 

图中：1、左支撑，2、 U形槽，3、右支撑，4、出料盖板，5、冷却结构盖板，6.、粘晶结构盖板，7、进料盖板，8、进料口，9、出料口， 10、固定螺丝，11、底座，12、耐热玻璃，13、密封罩，14、滑动片。 

具体实施方式

下面结合附图对本发明做详细的说明。 

图1、2、3示出了进料轨道盖板结构示意图。图中，在轨道的两侧固定有侧板，形成了以轨道为底面的U型结构；分别在轨道的出料、冷却、粘晶、进料处覆盖上一层透明密封的盖板，即出料盖板4、冷却结构盖板5、粘晶结构盖板6和进料盖板7，这些密封盖板一端卡在轨道一侧侧板的U型槽上，另一侧用螺丝固定在轨道另一侧的侧板上；密封盖板由底座11、耐热玻璃12、密封罩13和滑动片14组成；在底座11的凹槽中嵌入优质的耐热玻璃12，用固定螺丝10将密封罩13、耐热玻璃12和底座11相叠加密封固定粘合起来；在密封罩13上开有滑动片14，滑动片14为搬运位置密封挡片，功能与密封罩类似。 

所有轨道盖板与U形槽及轨道板连接处，均采用卡槽结构。接触面表面粗糙度均为0.8; 零件加工时严格限制其公差要求及误差范围。按照严格的装配工艺，保证结构的整体性能与密封性能。