[发明专利]一种简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法及应用有效
| 申请号： | 201210470418.X | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102967890A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 秦建华;姜雷;朱国丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 简易 pdms 聚合物 透镜 阵列 制备 方法 应用 | ||
1.一种简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：
（1）采用光刻机在掩膜下对SU-8聚合物玻璃片曝光，形成曝光区域和未曝光区域；
（2）采用显影液对SU8进行显影，控制显影时间，使未曝光的区域部分被去除；
（3）将玻璃片置于60~100度烘箱内，使未曝光的SU8聚合物发生热熔，表面变成凹透镜形状；
（4）对热熔后的SU-8聚合物模板进行整体的紫外曝光10~300秒，制成SU8微透镜阵列模板；
（5）将未固化PDMS聚合物溶液倾倒入SU8微透镜阵列模板上，80-90摄氏度加热固化20~120分钟，剥离得到PDMS聚合物透镜阵列。
2.按照权利要求1所述简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述聚合物为PDMS聚合物或其他具有弹性的透明聚合物。
3.按照权利要求1所述简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）的曝光条件为：曝光强度100~500mW/cm2，曝光时间为10~200s。
4.按照权利要求1所述简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述显影液为乳酸乙酯。
5.按照权利要求1所述简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述显影时间为1~20分钟。
6.按照权利要求1所述简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述微透镜阵列中透镜的高度通过调节显影的时间来调节，显影时间越长，透镜的高度越大。
7.按照权利要求1所述简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述步骤（4）的紫外曝光时间为120秒。
8.按照权利要求1所述简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述未固化PDMS聚合物溶液中单体与固化剂配比为10：1。
9.权利要求1所述方法制备的简易的PDMS聚合物微透镜阵列应用于光学成像。
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