[发明专利]热致发声器阵列的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种热致发声器阵列的制备方法。

背景技术

2008年10月29日，范守善等人公开了一种应用热声效应的热致发声装置，请参见文献“Flexible，Stretchable，Transparent Carbon Nanotube Thin Film Loudspeakers”，ShouShan Fan，et al.，Nano Letters，Vol.8(12)，4539-4545(2008)。该热致发声装置采用碳纳米管膜作为一热致发声元件，该碳纳米管膜通过热致发声原理进行发声。

然而，所述作为热致发声元件的碳纳米管膜的厚度为纳米级，容易破损且不易加工，并且于玻璃基底形成多个热致发声元件，生产效率较低，因此，如何解决上述问题是使上述热致发声装置能够实现产业化及实际应用的关键。

发明内容

有鉴于此，确有必要提供一种热致发声器阵列的制备方法，该制备方法可方便的在同一基底一次形成多个热致发声装置，可实现产业化。

一种热致发声器阵列的制备方法，其包括以下步骤：(a)提供一基底，所述基底包括一表面，在该基底的表面定义多个单元格子；(b)在所述基底的表面每一单元格子内形成多个平行且间隔设置的凹槽；(c)在所述基底的表面每一单元格子内形成至少一第一电极及至少一第二电极，任意相邻的第一电极与第二电极之间具有至少一凹槽；(d)在所述基底的表面贴附一热致发声元件，并使所述热致发声元件覆盖每一单元格子，且与所述每一单元格子中的第一电极及第二电极电连接，所述热致发声元件在每一单元格子中的多个凹槽位置悬空；以及(e)按照所述多个单元格子分割所述热致发声元件，使相邻单元格子的热致发声元件之间电绝缘。

一种热致发声器阵列的制备方法，其包括以下步骤：(a)提供一基底，所述基底包括一表面，在该基底的表面定义多个单元格子；(b)在所述基底的表面每一单元格子内形成多个均匀分布且间隔设置的凹部；(c)在所述基底的表面每一单元格子内形成至少一第一电极及至少一第二电极，任意两个相邻的第一电极与第二电极之间具有至少一凹部；(d)在所述基底的表面贴附一热致发声元件，并使所述热致发声元件覆盖每一单元格子，且与所述每一单元格子中的第一电极及第二电极电连接，所述热致发声元件在所述每一单元格子中的多个凹部位置悬空；以及(e)按照所述多个单元格子分割所述热致发声元件，使相邻单元格子的热致发声元件之间电绝缘。

与现有技术相比较，所述热致发声器阵列的制备方法具有以下优点：由于所述基底的第一表面定义多个单元格子，在该多个单元格子一次形成多个第一电极和多个第二电极，该热致发声元件一次铺设之后再按照单元格子进行分割，可方便的在同一基底一次形成多个热致扬声器单元，且每一热致扬声器单元相互独立发声，该制备方法可实现产业化。

附图说明

图1是本发明第一实施例提供的热致发声器阵列的俯视示意图。

图2是本发明第一实施例提供的热致发声器阵列的热致发声器单元的立体示意图。

图3是图2所示的热致发声器单元的剖视图。

图4是本发明第一实施例提供的热致发声器阵列的照片。

图5是本发明热致发声器阵列的热致发声器单元中的碳纳米管膜的扫描电镜照片。

图6是本发明热致发声器阵列的热致发声器单元中非扭转的碳纳米管线的扫描电镜照片。

图7是本发明热致发声器阵列的热致发声器单元中扭转的碳纳米管线的扫描电镜照片。

图8为本发明第一实施例提供的热致发声器阵列的制备方法流程图。

图9为本发明第一实施例提供的热致发声器阵列的制备方法中碳纳米管膜经有机溶剂处理后得到的碳纳米管线的光学显微镜照片。

图10是本发明第二实施例提供的热致发声器阵列的俯视示意图。

图11是本发明第二实施例提供的热致发声器阵列的热致发声器单元的立体示意图。

图12为图11所示的热致发声器单元的剖视图。

图13为本发明第三实施例提供的热致发声器阵列的热致发声器单元的立体示意图。

图14为本发明第四实施例提供的热致发声器阵列的热致发声器单元的剖视图。

主要元件符号说明

热致发声器阵列10，20

基底100

热致发声器单元200

第一表面101

凹部102

第二表面103