[发明专利]晶锭线切割装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种将硅单晶促切割加工成硅片的多线切割机，特别是一种晶锭线切割装置。

背景技术

半导体，晶体类别的太阳能电池向的硅片基本上都是由以硅为原料铸造的单晶体和多晶体所制造的，为了将拉出的晶棒或是铸造出的多晶锭加工成硅片形状，其主要加工方法是将一根切割线绕在上面切有等间隔切割槽的导轮上，以控制切割线的方向，然后一面让切割线双向高速移动，一面将晶锭压在线上，通过多线切割方式得到很薄的硅片，这样一次切割就能得到大量的硅片。一共有两种切割方式，一种是在切割硅片时，将液体砂浆喷在线上，以取得切割能力，还有一种方法是，使用切割线表面固着有金刚砂粒的金刚线，然后让切割线高速移动来切割。这两种方式区别很大。

在上述线切割设备中加上摇动机构，就能成为提高切断效率的线切割。一般说来，摇动轴中心和表面附有很多线槽的切割线导轮中心都设在一个水平面上。

这样，随着摇动角度的变化，晶锭切断部的切割线高度也经常变化，会发生切割线和晶锭分离的状态。而切割线不接触晶锭的话，切割就无法进行，这样会导致切断效率变低。另外，虽然将停止时间变长的话，也可以使切断效率比原来的方式要高，但是，如果在同样角度进行切割的话，会导致切削无法排出，切断效率反而会降低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种当线摇动时、使切割线的上下移动降到最低、提高切割效率的晶锭线切割装置及其使用方法。

为解决上述技术问题，本发明晶锭线切割装置，包括：线切割摇动部；切割线导轮，所述切割线导轮设置在所述线切割摇动部上，所述线切割导轮的数量为两个，在所述切割线导轮的表面附有多个线槽；切割线，所述切割线卡在所述线槽内，所述切割线连接在两个所述线切割导轮之间；所述切割线的摇动轴中心和晶锭切断部处于同一水平面上。

本发明晶锭线切割装置将切割线的摇动部分上所设置的表面附有很多线槽的切割线导轮进行重新布置，切割线的摇动轴中心和晶锭切断部处于同一水平。这样，摇动时切割线的上下移动就会消失，能够保持长时间和晶锭接触，能够提高切断效率；同时，就算缩短停止时间，切断效率也不会降低，切屑也能更有效地排出，也能够更有效地提高切断效率。

附图说明

图1A为现有技术线切割装置结构示意图；

图1B为现有技术线切割装置晶锭切割部局部放大图；

图2A为本发明晶锭线切割装置结构示意图；

图2B为本发明晶锭线切割装置晶锭切割部局部放大图；

本发明晶锭线切割装置附图中附图标记说明：

1-线切割摇动部    2-切割线导轮    3-切割线

具体实施方式

下面结合附图对本发明晶锭线切割装置及其使用方法作进一步详细说明。

如图1、图2所示，本发明晶锭线切割装置，包括：线切割摇动部1以及两个设置在线切割摇动部1上的线切割导轮2，在切割线导轮2的表面附有多个线槽（图中未示出），切割线3卡在线槽（图中未示出）内，连接在两个线切割导轮之间。将切割线3的摇动轴中心设置在于晶锭切断部处于同一水平面上。

摇动角度为±5°，摇动速度每分钟300°，±5°的位置上停止时间为1秒的情况下，合计10°的摇动要2秒，停止时间±5°的位置上一共为2秒。按照原来的构造，在摇动角度最大时，晶锭和切割线才有接触，也就会说只有在±5°停止时间为2秒的时候才进行切断，而采用本发明的构造，因为在摇动过程中切割线不会上下移动，所以能够长时间和晶锭进行接触，也就是说，有4秒钟的切断时间，按这样的条件，切断效率就变成了原来的2倍。

本发明晶锭线切割装置将切割线的摇动部分上所设置的表面附有很多线槽的切割线导轮进行重新布置，切割线的摇动轴中心和晶锭切断部处于同一水平。这样，摇动时切割线的上下移动就会消失，能够保持长时间和晶锭接触，能够提高切断效率；同时，就算缩短停止时间，切断效率也不会降低，切屑也能更有效地排出，也能够更有效地提高切断效率。

以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请的范围内。