[发明专利]磁头元件检查器

说明书

技术领域

本发明涉及检查磁头元件的磁性的有效磁道宽度等的磁头元件检查器。

背景技术

为了测定薄膜磁头的产生磁场形状而检查磁性的有效磁道宽度等，使用具有原子尺寸水平的高分解能的磁力显微镜（MFM：Magnetic Force Microscope）等磁头元件检查器。在磁力显微镜中具有磁场检测用悬臂，通过使悬臂在磁头元件上扫描移动来测定磁场形状。在磁头元件检查器中开始检查时，需要将悬臂定位在基准位置。

作为与之相关的技术，在专利文献1中记载有下述结构：以更简单且在短时间内进行悬臂的定位作业为目的，在使用调整夹具将相对于支架基座保持悬臂的支架滑块移动到基准位置后，将杆支架（支架基座与支架滑块）安装在扫描探针显微镜的杆支架保持部上。

专利文献1：日本特开2004-20534号公报

在专利文献1所记载的现有技术中，在更换悬臂的场合，使用调整夹具将悬臂定位在基准位置并利用悬臂支架（杆支架）保持，将该悬臂支架安装在检查器上。但是，在该方法中，需要准备其他调整夹具、确保调整作业空间，在使用多个夹具的场合，需要以利用各个夹具调整的位置不会不同的方式进行夹具间的整合。另外，在将对悬臂进行定位的悬臂支架安装在检查器上时，有可能产生位置偏差，在该场合，需要再次的位置调整，增大了调整时间。

发明内容

本发明的目的在于提供在更换悬臂的场合，能够不使用调整夹具且在短时间内调整悬臂的位置的磁头元件检查器。

本发明是一种利用悬臂检查磁头元件的特性的磁头元件检查器，具备：保持悬臂的悬臂支架；安装悬臂支架的支架基座；在Z方向上驱动支架基座的Z方向驱动轴；以及保持磁头元件并在XY方向上进行驱动的工作台，在悬臂支架与支架基座上具有在X方向与Y方向上调整悬臂的位置的调整机构。

根据本发明，由于在将悬臂安装在磁头元件检查器上后进行位置调整，因此不需要调整夹具及调整作业空间。另外，由于与安装误差或部件的个体差无关地利用一次调整便能结束定位，因此能够大幅地缩短悬臂更换时间。

附图说明

图1是表示磁头检查系统的一个实施例的外观图。

图2是表示磁头元件检查器1的机构部2的结构的图。

图3A、B是支架基座单元3的详细图。

图4A、B、C是悬臂支架4的详细图。

图5A、B是表示悬臂5的保持方法的放大图。

图6是表示悬臂支架4的安装方法的放大图。

图7是表示使用了监视器14的悬臂5的位置调整方法的图。

图中：1—磁头元件检查器，11a—机架A，11b—支架B，12—控制PC，13—装置电源操作部，14—监视器，2—机构部，21—工作台，22—悬臂Z方向驱动轴，23—摄像机，24—摄像机Z方向驱动轴，25—供电单元，3—支架基座单元，31a—支架基座（基准），31b—支架基座（按压件），31c—支架基座（底面），32—吸附磁铁，33—基准销，34—偏心销，35—推杆，4—悬臂支架，41a—支架定位部，41b—支架基准面，41c—支架接触面，42—按压弹簧，43—基准销，44—调整螺栓，5—悬臂，6—工件，70—插入方向，80—记号。

具体实施方式

下面，使用附图说明本发明的实施方式。

图1是表示具备磁头元件检查器的磁头检查系统的一个实施例的外观图。在磁头元件检查器中，就在薄膜磁头制造过程中从晶圆切出的单体状态的薄膜磁头所包含的存储磁头元件而言，利用磁力显微镜（MFM）测定产生磁场形状，以非破坏的方式实施磁性的有效磁道宽度的检查。在该检查中，从各磁头元件的接合垫片输入存储信号（励磁用信号），在磁头的浮起高度相当量的位置使悬臂（磁性探针）进行扫描移动，测定从磁头元件产生的磁场的形状。

磁头元件检查器1的结构具备收放磁力显微镜的机构部2的机架A（11a）、进行机构部2的驱动、测定、检查的控制的控制盘、以及收放对控制必要的电源等的机架B（11b）。另外，具备用于控制、操作磁头元件检查器1的控制PC（12）、装置电源操作部13、及显示测定结果的监视器14。

图2是表示磁头元件检查器1的机构部2的结构的图。下面，如图示那样定义装置的X、Y、Z轴方向并进行说明。