[发明专利]一种确定光刻照明系统中各元件之间匹配关系的方法有效
| 申请号： | 201210474350.2 | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102937778A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 李艳秋;魏立冬 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09;G02B27/42 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 李爱英;杨志兵 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 确定 光刻 照明 系统 元件 之间 匹配 关系 方法 | ||
1.一种确定光刻照明系统中各元件之间匹配关系的方法，该方法所针对的光刻照明系统沿光路方向依次包括光源（1）、扩束镜（2）、衍射光学元件（3）、变焦镜（4）、圆锥棱镜（5）、复眼阵列（6）、孔径光阑（7）、聚光镜（8）、视场光阑（9）以及转像镜（10）；其特征在于，具体步骤为：
步骤101、确定转像镜倍率K，根据所述K确定照明场直径DFT和聚光镜的数值孔径NAILL；
步骤102、确定复眼阵列的规格，所述规格包括复眼阵列微透镜孔径pLA、复眼阵列中微透镜焦距fLA和复眼阵列外径Darray；
步骤103、根据科勒照明基本原理得到聚光镜的焦距fCS和聚光镜的入瞳直径Dpupil；
步骤104、判断Dpupil是否大于Darray，若是，则重新选择复眼阵列，并返回步骤102，否则进入步骤105；
步骤105、根据当前确定的参数Dpupil，进行光线追迹，判断照明均匀性是否满足要求，若满足，则进入步骤106，否则在保证Dpupil小于Darray的情况下，调整复眼阵列规格和Dpupil，使得光束被更多的复眼阵列分割，再进行光线追迹，直至照明均匀性满足设计指标要求为止；
步骤106、令Dpupil为由扩束镜、衍射光学元件、变焦镜和圆锥棱镜所构成的光束整形单元的出射光束的大小，根据光束整形单元的入射光束和出射光束的大小，确定扩束镜、衍射光学元件、变焦镜和圆锥棱镜之间的匹配关系，从而完成了光刻照明系统中各元件之间的匹配。
2.根据权利要求1所述确定光刻照明系统中各元件之间匹配关系的方法，其特征在于，
所述根据科勒照明基本原理得到聚光镜的焦距fCS和聚光镜的入瞳直径Dpupil为：
采用公式（1）计算出所述聚光镜的焦距fCS，
DFT＝pLA1×fCS/fLA2 （1）
其中pLA1是第一列复眼阵列微透镜孔径，fLA2是第二列复眼阵列中微透镜焦距；
采用公式（2）计算出所述聚光镜的入瞳直径Dpupil，
NAILL＝Dpupil/(2×fCS) （2）。
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