[发明专利]一种供液模块及其对应的流量计校准方法

说明书

技术领域

本发明涉及太阳电池制造领域，特别涉及一种供液模块及其对应的流量计校准方法。

背景技术

在太阳电池制造领域，经常会进行湿制程即用酸溶液或碱溶液对硅片进行腐蚀和清洗，湿制程中一些测量仪器(例如流量计等)在酸碱环境下使用一段时间后就会逐步读数不准、老化或损坏，从而导致制程过程中出现设备故障进而影响工艺性能。参见图1，其显示了现有技术中对槽体3供液的供液模块，所述供液模块包括驱动单元1、流量计2、第一管道40和第二管道42，所述第一管道40连接在驱动单元1和流量计2之间，所述第二管道42连接在流量计2与槽体3之间，所述流量计2在使用一段时间后会产生老化或管路堵塞等现象，该些问题都会导致供应到槽体3中的供液量不准确，供液配比失衡会导致产品在制造过程中出现异常。所述流量计2上设置有用来调整流量计示值的校准模块，通过调整校准模块可使流量计2的示值与其实际测得的流量更加接近。

在校准流量计及供液模块准确性时，需将设备停机、多人进行操作、穿好防护用品(防酸碱服、防毒面具、防酸碱手套、防酸碱皮靴、面罩等)，然后使用量杯对流入槽体的药液体积进行测量并通过调整校准模块来进行校准，重复测量2次以上。上述较准方法存在着以下主要缺点：首先，过程繁琐，校准人员需要穿戴好防护用品且需要2人以上配合进行，在校准过程中还需要拆卸管道，需要多次定量，造成时间上浪费；另外校准人员的人身安全还存在危险；再者，校准时需停止供液模块运作，耽误生产时间降低生产效率。

因此，如何提供一种供液模块及其对应的流量计校准方法以解决现有流量计校准方法所存在的过程繁琐、耗时较长和校准人员存在人身安全等问题，已成为业界亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是要提供一种供液模块及其对应的流量计校准方法，通过所述供液模块及其对应的流量计校准方法可简化流量计较准并减少了流量计校准用时，且有效提高较准的安全性。

为实现上述目的，本发明提供一种供液模块，用于对一槽体供液，包括驱动单元、流量计、连接在两者间的第一管道和连接在流量计另一侧的第二管道，所述供液模块还包括透光型缓冲量筒和第三管道，所述第二管道和第三管道分别连接在透光型缓冲量筒的顶端和底端，所述第三管道连接至槽体，所述第三管道上连接有校准开关，所述流量计上具有用于校准流量计的校准模块，所述驱动单元驱动液体经第一管道、流量计、第二管道、透光型缓冲量筒和第三管道至槽体。

在一较佳实施例中，所述透光型缓冲量筒的材质为聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚全氟乙丙烯或聚对苯二甲酸丁二醇酯。

在一较佳实施例中，所述驱动单元为离心泵。

在一较佳实施例中，所述供液模块所供应的液体为酸性溶液或碱性溶液。

在一较佳实施例中，所述透光型缓冲量筒的容量为1～5L。

本发明还提供一种用于上述任一项所述的供液模块上的流量计校准方法，包括以下步骤：a、关闭校准开关；b、开启驱动单元驱动液体一预设时段；c、观测该预设时段内流入透光型缓冲量筒的液量；d、观测该预设时段内流量计的读数并计算出该预设时段内通过流量计的液量；e、判断所计算出的液量与流入透光型缓冲量筒的液量之差是否在一预设范围内，如是则结束，若否则继续步骤f、调整校准模块并返回至步骤b。

在一较佳实施例中，所述预设时段为5～30s。

在一较佳实施例中，所述预设范围为0～5ml。

与现有技术中需将设备停机并多人进行操作且需穿好防护用品相比，本发明的供液模块上还设置有透光型缓冲量筒和校准开关，本发明的流量计校准法方法先关闭校准开关并开启驱动单元驱动液体一预设时段，之后观测该预设时段内流入透光型缓冲量筒的液量，并同时观测该预设时段内流量计的读数并计算出该预设时段内通过流量计的液量，然后判断所计算出的液量与流入透光型缓冲量筒的液量之差是否在一预设范围内，如是则校准结束，若否则调整校准模块并继续进行前述步骤直至较准结束。本发明可简化流量计的较准步骤，并降低较准的危险度和人力耗费。

附图说明

图1为现有技术中供液模块的组成结构示意图；

图2本发明的供液模块的组成结构示意图；

图3为本发明的流量计校准方法的流程图。

具体实施方案

下面结合具体实施例及附图来详细说明本发明的目的及功效。