[发明专利]一种超精密气浮主轴结构

权利要求书

1.一种超精密气浮主轴结构，其特征在于，径向气浮轴承（3）支撑在主轴箱体（1）内，径向气浮轴承（3）的两端分别连接前端面气浮轴承（4）和后端面气浮轴承（5），迷宫密封（16）将前端面气浮轴承（4）的前浮盘与配重（24）密封连接；主轴（2）在径向气浮轴承（3）内与活塞（23）连接；后端面气浮轴承（5）与后浮盘（6）和弹性盘（7）组合成一体，然后通过锁紧螺母（8）连接电机定子（10），电机定子压环（15）将电机定子（10）安装在电机定子安装罩（9）内，在电机定子安装罩（9）的一端与后盖（14）固定，另一端与主轴箱体（1）连接；电机转子（11）通过锁紧螺母（12）与动平衡盘（13）固定；弹簧销（19）使粗刀盘（22）与配重（24）固定，粗刀（21）安装在粗刀盘上；刀具定位销（17）将精刀（18）固定在配重（24）上，前罩（20）套在配重（24）外圆周上。

2.根据权利要求1所述超精密气浮主轴结构，其特征在于，所述弹性盘（7）根据负载及温度变化调整合适的后端面气浮轴承（5）及后浮盘（6）与径向气浮轴承（3）之间的间隙，克服普通机床设备的主轴靠轴承机械支撑，造成机械摩擦磨损的严重后果。

3.根据权利要求1所述超精密气浮主轴结构，其特征在于，所述主轴内通入洁净压力空气，使径向气浮轴承（3）、前端面气浮轴承（4 ）和后端面气浮轴承（5）同时作用，支撑主轴旋转，并形成对主轴的轴向约束，保证主轴旋转的平稳性，保证零部件的精密加工精度达到1～2μm，无需研磨，表面粗糙度Ra达到0.01μm。