[发明专利]一种显影液喷涂轨道机及其喷涂方法

权利要求书

1.一种显影液喷涂轨道机，包括至少两个互不交叠的显影槽、以及设置在显影槽上方的显影液喷涂装置，所述显影液喷涂装置包括喷嘴、与喷嘴连接的用于输送显影液的管路、固定喷嘴的机械臂，以及控制喷嘴和机械臂动作的控制单元，其特征在于：

所述控制单元还包括定位模块，所述定位模块控制所述显影液喷涂装置在所述互不交叠的显影槽之间移动，并交替定位于其中一个显影槽中，进行显影液喷涂工艺。

2.如权利要求1所述的一种显影液喷涂轨道机，其特征在于，所述至少两个互不交叠的显影槽处于同一水平面。

3.如权利要求1或2所述的一种显影液喷涂轨道机，其特征在于，所述显影液喷涂装置的初始位置对应设置在两个相邻的互不交叠的显影槽中间。

4.如权利要求1或2所述的一种显影液喷涂轨道机，其特征在于，所述相邻两个显影槽中间设有隔板，所述隔板在所述显影液喷涂装置的避让位置设有窗口，所述控制单元还包括开关模块，所述开关模块控制所述窗口在所述显影液喷涂装置偏离隔板的时候关闭，并控制所述窗口在所述显影液喷涂装置通过的时候打开。

5.如权利要求4所述的一种显影液喷涂轨道机，其特征在于，所述显影液喷涂装置的初始位置对应设置在任意一个显影槽上方。

6.如权利要求1或2所述的一种显影液喷涂轨道机，其特征在于，所述显影液喷涂轨道机至少有两层轨道，每一层轨道至少包括两个互不交叠的显影槽。

7.如权利要求1或2所述的一种显影液喷涂轨道机，其特征在于，所述每个显影槽内还设有清洗模块。

8.一种显影液喷涂轨道机的喷涂方法，包括步骤：

A、在至少两个互不交叠的相邻显影槽上方架设一套设有控制单元的显影液喷涂装置；

B、采用控制单元中的定位模块控制所述显影液喷涂装置在两个相邻显影槽之间移动，并交替定位于其中一个显影槽中，进行显影液喷涂作业。

9.如权利要求8所述的一种显影液喷涂轨道机的喷涂方法，其特征在于，所述显影液喷涂轨道机至少包括两层显影槽，每一层设有两个在同一水平面平行放置的显影槽，所述两个显影槽中间的间壁具有相通结合部，所述步骤A中，将显影液喷涂装置的初始位置设置在两个显影槽的中间；所述步骤B包括：

B1、所述控制单元中的定位模块控制显影液喷涂装置从初始位置移动到其中一个显影槽的硅片上方位置进行喷涂作业；

B2、定位模块控制显影液喷涂装置返回初始位置；

B3、定位模块控制显影液喷涂装置从初始位置移动到另一个显影槽的硅片上方位置进行喷涂作业；

B4、定位模块控制显影液喷涂装置返回初始位置；

B5、返回步骤B1。

10.如权利要求8所述的一种显影液喷涂轨道机的喷涂方法，其特征在于，所述步骤A中还包括在两个互不交叠的显影槽中间设置带窗口的隔板；打开窗口，将显影液喷涂装置的初始位置设置在两个显影槽的中间；所述步骤B包括：

B1、控制单元的定位模块控制所述显影液喷涂装置移动到其中一个显影槽的硅片上方位置，采用控制单元的开关模块控制所述窗口关闭后进行喷涂作业；

B2、所述开关模块控制打开窗口，所述定位模块将显影液喷涂装置移回初始位置； 

B3、所述定位模块将显影液喷涂装置移动到另一个显影槽的硅片上方位置，所述开关模块关闭窗口后进行喷涂作业；

B4、所述开关模块打开窗口，所述定位模块将显影液喷涂装置返回初始位置；

B5、返回步骤B1。