[发明专利]二自由度平动并联高带宽微动平台

权利要求书

1.一种二自由度平动并联高带宽微动平台，包括微动平台主体、安装在微动平台主体上的压电陶瓷驱动器和传感器夹具，安装在传感器夹具上的非接触式电容传感器，其特征在于，所述微动平台主体包括工作平台、固定机架以及对称分布于工作平台四周两个相互垂直的X、Y方向上的两级驱动支链及其对应的两级辅助支链，所述驱动支链及其对应的辅助支链相向分布。

2.根据权利要求1所述的二自由度平动并联高带宽微动平台，其特征在于，所述的两级驱动支链为一级驱动支链和二级驱动支链，其中：一级驱动支链两端与固定机架固连，二级驱动支链包括两个端部加倒角的柔性铰链，所述柔性铰链一端与一级驱动支链通过一级驱动支链中间凸起的矩形模块连接，另一端与工作平台固连。

3.根据权利要求1所述的二自由度平动并联高带宽微动平台，其特征在于，所述的两级辅助支链为一级辅助支链和二级辅助支链，其中：一级辅助支链两端与固定机架固连，二级辅助支链包括两个端部加倒角的柔性铰链，所述柔性铰链一端与一级辅助支链通过一级辅助支链中间凸起的矩形模块连接，另一端与工作平台固连。

4.根据权利要求1所述的二自由度平动并联高带宽微动平台，其特征在于，所述的工作平台X、Y两个方向分别与对应方向的二级驱动支链及二级辅助支链连接。

5.根据权利要求1所述的二自由度平动并联高带宽微动平台，其特征在于，所述的固定机架分别与X、Y两个方向的一级驱动支链及一级辅助支链固连。

6.根据权利要求1所述的二自由度平动并联高带宽微动平台，其特征在于，所述的压电陶瓷驱动器嵌入在微动平台主体的安装槽内，头部与一级驱动支链的中间部分接触，施加力直接作用在驱动支链上，而其底部与固定机架通过螺纹固连安装。

7.根据权利要求1所述的二自由度平动并联高带宽微动平台，其特征在于，所述的非接触式电容传感器安装在传感器夹具的安装孔内，并通过锥形销紧固。

8.根据权利要求1所述的二自由度平动并联高带宽微动平台，其特征在于，所述的传感器夹具通过螺纹固连安装在微动平台的固定机架上。

9.根据权利要求1所述的二自由度平动并联高带宽微动平台，其特征在于，所述的驱动支链、辅助支链、工作平台及固定机架采用一体式结构。