[发明专利]一种光刻设备中超高压汞灯的启动电流限制电路

权利要求书

1.一种光刻设备中超高压汞灯的启动电流限制电路，其特征在于，包括用于检测超高压汞灯电流信号的电流传感器、电流基准信号电路、滞回比较器、三极管开关电路以及输入端经所述三极管开关电路与所述滞回比较器输出端连接，并用于接收功率控制电路输出的功率控制信号以及功率基准电路输出的功率基准信号后输出控制信号至驱动电路的脉宽控制器；所述电流传感器输出端接所述滞回比较器信号输入端；所述电流基准信号电路输出端接所述滞回比较器基准输入端；所述滞回比较器通过将所述电流传感器采样的超高压汞灯电流信号电平与所述电流基准信号电路设定的基准信号电平相比较，控制所述三极管开关电路导通或截止来控制所述脉宽控制器同相输入端电平下拉或恢复，控制所述超高压汞灯启动电流在一安全范围。

2.根据权利要求1所述的一种光刻设备中超高压汞灯的启动电流限制电路，其特征在于，所述电流基准信号电路包括基准电压源、电位器RP1、电阻R4，电位器RP1动臂与其一端连接后接在所述基准电压源输出端，另一端经电阻R4接地。

3.根据权利要求2所述的一种光刻设备中超高压汞灯的启动电流限制电路，其特征在于，所述滞回比较器包括运算放大器及电阻R1、R2、R3；所述运算放大器同相输入端经电阻R2接所述电流传感器输出端，电阻R1接在所述电流传感器的输出端与地之间，电阻R3接在所述运算放大器同相输入端和输出端之间，所述运算放大器反相输入端经所述电位器RP1接在所述基准电压源输出端，电阻R4接在所述运算放大器反相输入端和地之间。

4. 根据权利要求3所述的一种光刻设备中超高压汞灯的启动电流限制电路，其特征在于，所述三极管开关电路包括开关三极管V1、电阻R5、电容C1和二极管V2；所述三极管V1基极经电阻R5接在所述运算放大器输出端，发射极接二极管V2正极，二极管V2负极接地，集电极接所述脉宽控制器同相输入端；所述电容C1接在所述运算放大器输出端和地之间。

5.根据权利要求1~4任一项所述的一种光刻设备中超高压汞灯的启动电流限制电路，其特征在于，所述电流传感器采用霍尔磁平衡传感器。